[实用新型]一种指向性MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201520015550.0 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN204291391U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张庆斌;冯坤;窦建强 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;黄锦阳 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 指向 mems 麦克风 | ||
1.一种指向性MEMS麦克风,其特征在于，包括：
基板；
均设置在所述基板上并且彼此电连接的MEMS芯片和ASIC芯片；
外壳，所述外壳与所述基板相连围成封装腔体，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片设置在所述封装腔体内部；
第一声孔，设置于所述基板上，位于所述MEMS芯片下方；
第二声孔，设置在所述封装腔体的所述基板上或所述外壳上；
以及阻尼片，所述阻尼片位于所述第一声孔和所述MEMS芯片之间并且覆盖所述第一声孔。
2.如权利要求1所述的麦克风，其特征在于：所述阻尼片设有密集的通孔。
3.如权利要求1所述的麦克风，其特征在于：所述阻尼片开设有通道，所述通道的一端对准所述第一声孔，另一端对准所述MEMS芯片。
4.如权利要求3所述的麦克风，其特征在于：所述通道为直线形状或者弯折形状。
5.如权利要求3所述的麦克风，其特征在于：所述通道为Z形形状。
6.如权利要求3所述的麦克风，其特征在于：所述通道对准所述第一声孔的一端设置成网状结构和/或所述通道对准所述MEMS芯片的一端设置成网状结构。
7.如权利要求3所述的麦克风，其特征在于：所述通道对准所述第一声孔的一端覆盖有防尘网和/或所述通道对准所述MEMS芯片的一端覆盖有防尘网。
8.如权利要求1-7任一项所述的麦克风，其特征在于：所述基板为所述封装腔体的底部，所述第二声孔设置在所述封装腔体的顶部。
9.如权利要求1-7任一项所述的麦克风，其特征在于：所述外壳包括上盖和侧壁，所述第二声孔设置在所述上盖或所述侧壁上。
10.如权利要求1-7任一项所述的麦克风，其特征在于：所述阻尼片的材料为下列任一：硅、陶瓷、线路板、金属片、注塑件。
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