[发明专利]气体管路泄露及压力波动的检测装置及检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及气体管路的泄露及压力检测装置，本发明还涉及所述气体管路泄露及压 力波动的检测装置的检测方法。

背景技术

目前半导体工厂的二次配管大宗气体管路的泄漏检测及压力波动测量，一般使用指 针式压力表进行12小时连续检测压力，检测结果依靠目测，无法对细微的压力泄漏进 行判断，经常无法通过科学的测量来解决相关问题。由于半导体工厂对安全和环境的要 求高，气体配管不能有任何的泄漏，业界普遍采用的HE检漏仪检查泄漏率，价格高且 一般使用于特气管路，性价比低。

同时，在半导体工厂内无法精确到对单台设备进行压力波动检测(目前只监测系统 压力)，经常无法通过科学的测量来解决相关问题，当出现单台设备出现宕机时，无法 判断是否是由于动力部门提供的气体压力发生的波动而造成，也无法判断发生压力波动 的时间。

基于以上两点，需要一种针对大宗气体管路泄漏及压力波动的检测手段。

旋转圆盘式压力测定表盘是机械传动装置(可用机械钟表改造)、弹簧管、带画笔 的转轴固件组成的，由于被测量气体压力的变化使弹簧管的自由端产生位移，借助连杆 带动转轴扇使得带画笔的指针旋转，在记录纸上画出相应的压力数值。在测量12小时 后，压力如没有变化，则能画出不断点能重合的等直径光滑圆圈，证明所测二次配管管 路气体没有泄漏，适用于(CDA、N2、H2、O2、AR等等介质的压力)，在二次配管管路内 气体压力发生波动时，利用旋转圆盘式压力测定表盘，可监测12小时内，何时发生过 压力波动的情况。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种气体管路泄露及压力波动的检测装置，监控 气体管路内部气体压力。

本发明还要解决的技术问题在于提供所述气体管路泄露及压力波动的检测装置的 检测方法。

为解决上述问题，本发明所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置，包含：

一导气管，该导气管与气体管路连接，并且在导气管上安装有阀门组，控制导气管 内气体的流通；

一弹簧管，该弹簧管呈螺旋弹簧状，具备首尾两端，其尾端有一卡件将其固定，并 且螺旋弹簧与导气管连接，导体管内的气体通过阀门进入螺旋弹簧内；弹簧管的首端为 自由端，进入弹簧管内气体的压力及流量的变化能使自由端自由摆动；

一转轴，该转轴固定于一转轴架上，转轴通过连接件连接弹簧管的首端，当首端摆 动时，通过连接件带动转轴形成转动；

记录装置，该记录装置通过一摆动臂安装在转轴上，当转轴转动时，带动摆动臂摆 动，使记录装置形成运动；

机械传动装置，由多个齿轮构成齿轮组驱动一圆盘转动，圆盘上放置带刻度的圆形 记录纸，圆盘圆心处有一帽托对圆形记录纸施加向下的压力，固定圆形记录纸；所述记 录装置通过摆动臂悬浮于圆形记录纸的上方，并且记录装置与记录纸接触，在记录纸上 形成划线笔迹。

进一步地，所述圆盘的转动速度由齿轮组决定，以设定圆盘转动一周所需的时间， 如设置成12小时旋转一周，或者任意时间。

进一步地，所述记录装置为水笔、铅笔、圆珠笔或其他能持续均匀划线的设备。

为解决上述问题，本发明所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法， 包含：

步骤一，将导气管接入待测气体管路，打开阀门组，使导气管与气体管路接通；

步骤二，在圆盘上放置带刻度的记录纸，将记录装置置于纸上使之接触能产生画线；

步骤三，使机械传动装置按照设定转速进行旋转，记录装置在记录纸上开始画线。

进一步地，还包括步骤四，机械传动装置旋转一周后，通过阀门组将导气管内的气 体压力释放。

进一步地，所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法，气体通过弹簧 管，有压力波动时，弹簧管自由端发生位移，转轴形成连动，推动记录装置的摆动，使 记录纸上的画线产生波动。

进一步地，所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法，机械传动装置 旋转一周，若记录装置画线轨迹为封闭的圆形，则表明气体管路没有发生泄露；若画线 轨迹不封闭，首尾不能重合，这表明气体管路压力不稳定；若画线轨迹首尾重合，但中 间产生波动，这表示气体压力在某时间段发生波动。