[发明专利]气体管路泄露及压力波动的检测装置及检测方法在审

专利信息
申请号: 201511026551.6 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN105605431A 公开(公告)日: 2016-05-25
发明(设计)人: 杨卫枫;吴钧敏 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: F17D5/02 分类号: F17D5/02;F17D5/00
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 丁纪铁
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 气体 管路 泄露 压力 波动 检测 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种气体管路泄露及压力波动的检测装置,其特征在于:包含:

一导气管,该导气管与气体管路连接,并且在导气管上安装有阀门组,控制导气管 内气体的流通;

一弹簧管,该弹簧管呈螺旋弹簧状,具备首尾两端,其尾端有一卡件将其固定,并 且螺旋弹簧管的尾端与导气管连接,导体管内的气体通过阀门进入螺旋弹簧内;弹簧管 的首端为自由端,进入弹簧管内气体的压力及流量的变化能使自由端自由摆动;

一转轴,该转轴固定于一转轴架上,转轴通过连接件连接弹簧管的首端,当首端摆 动时,通过连接件带动转轴形成转动;

记录装置,该记录装置通过一摆动臂安装在转轴上,当转轴转动时,带动摆动臂摆 动,使记录装置形成运动;

机械传动装置,由多个齿轮构成齿轮组驱动一圆盘转动,圆盘上放置带刻度的圆形 记录纸,圆盘圆心处有一帽托对圆形记录纸施加向下的压力,固定圆形记录纸;所述记 录装置通过摆动臂悬浮于圆形记录纸的上方,并且记录装置与记录纸接触,在记录纸上 形成画线轨迹。

2.如权利要求1所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置,其特征在于:所述圆 盘的转动速度由齿轮组决定,以设定圆盘转动一周所需的时间,如设置成12小时旋转 一周,或者任意时间。

3.如权利要求1所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置,其特征在于:所述记 录装置为水笔、铅笔、圆珠笔或其他能持续均匀划线的设备。

4.使用如权利要求1所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法,其特 征在于:

步骤一,将导气管接入待测气体管路,打开阀门组,使导气管与气体管路接通;

步骤二,在圆盘上放置带刻度的记录纸,将记录装置置于纸上使之接触能产生画线;

步骤三,使机械传动装置按照设定转速进行旋转,记录装置在记录纸上开始画线。

5.如权利要求4所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法,其特征在 于:还包括:步骤四,机械传动装置旋转一周后,通过阀门组将导气管内的气体压力释 放。

6.如权利要求4所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法,其特征在 于:气体通过弹簧管,有压力波动时,弹簧管自由端发生位移,转轴形成连动,推动记 录装置的摆动,使记录纸上的画线产生波动。

7.如权利要求6所述的气体管路泄露及压力波动的检测装置的检测方法,其特征在 于:机械传动装置旋转一周,若记录装置画线轨迹为封闭的圆形,则表明气体管路没有 发生泄露;若画线轨迹不封闭,首尾不能重合,这表明气体管路压力不稳定;若画线轨 迹首尾重合,但中间产生波动,这表示气体压力在某时间段发生波动。

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