[发明专利]一种减振系统及其调节方法

说明书

本发明公开了一种减振系统及其调节方法，该减振系统包括减振器组件、水平度检测组件、水平度调整组件和控制系统，所述减振器组件包括固定件和安装于所述固定件上的浮动件，所述水平度检测组件设在所述浮动件中，所述水平度调整组件设于所述浮动件和固定件之间，所述控制系统分别连接所述水平度检测组件和水平度调整组件。本发明通过水平度检测组件和控制系统得到减振器组件的水平度变化量，并通过水平度调整组件进行实时调整，不仅降低了因制造、装配影响造成的减振器组件初装难度，而且保证了减振器组件在工作过程中的水平度的稳定性，进而实现物镜空间像的位置稳定性，减少运动台的测量调整时间，大大提高了产率和工作效率。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种具有水平调节功能的减振系统及其调节方法。

背景技术

光刻机是大规模集成电路制造工艺中的关键设备，而投影物镜(下文简称物镜)是光刻机的核心，其性能直接决定了光刻的图形传递能力。为保证物镜拥有良好的图形传递能力，物镜的安装精度需达到很高的要求，即需要同时保证物镜顶部物面与掩模版的高度重合、物镜底部像面与硅片的高度重合，而为了达到相对较高的静态环境以避免外界的扰动，通常将物镜及支撑物镜的机械结构布置在减振环境中，即布置在减振器减振的结构范畴内，由减振器支撑。

随着用户对光刻机精度要求的提高，对减振器的要求也越来越苛刻。现有的减振器采用空气弹簧负刚度的设计原理，其支撑的结构工件加上物镜重达4吨，一方面采用负刚度的结构设计抵御外载荷的能力差，且其自身的水平稳定性难以保证，另一方面结构工件的静力变形相对较大，严重影响了物面和像面的重合度。此外，减振器通常存在水平度的变化，造成物镜顶部物面及底部像面的空间位置变化，因此需要掩模台和工件台不断调整去适应物镜的这一变化，这就不但要求运动台的行程要有足够预算，还要消耗大量的调整时间，从而降低产率，另外水平度的变化方向不能事先预期得到，从而增加了运动台的测量校正时间。

现有技术中提供了一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜。该调平装置包括安装基板，三个柔性块，安装件和固定件。其中柔性块前端通过固定件与投影物镜的安装法兰连接，柔性块底座通过安装件安装在安装基板上；柔性块前端中部开有第一狭长槽，柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽，柔性块后端装有一调节杆。该调平装置采用三个等圆周均布的柔性块，调节柔性块的调节杆实现柔性块前端的翘起和压下以调节投影物镜水平度，并利用两狭长槽形成的弹性支点避免外界的振动和冲击给投影物镜带来的损害。该调平装置利用机械调整装置保证了物镜的初始安装水平，然而并不能保证减振器工作过程中物镜的水平度，更不能自动调整由于减振器的水平变化引起的物镜水平偏差。

发明内容

本发明为了解决以上不足，提供了一种具有水平调节功能的减振系统及其调节方法。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种具有水平调节功能的减振系统，连接在光刻机的内部框架与外部框架之间，所述减振系统包括减振器组件、水平度检测组件、水平度调整组件和控制系统，所述减振器组件包括固定件和安装于所述固定件上的浮动件，所述固定件安装在所述外部框架上，所述内部框架安装在所述浮动件上，所述水平度检测组件设在所述浮动件中，所述水平度调整组件设于所述浮动件与所述固定件之间，所述控制系统分别连接所述水平度检测组件和水平度调整组件。

优选的，所述水平度检测组件包括由下至上依次分布的照明系统、液体系统和光感系统，所述照明系统发射的照明光源透过所述液体系统后均匀照射到所述光感系统上，所述液体系统内充满液体，所述液体内设有不透明气泡，所述不透明气泡的初始位置与所述光感系统在XY平面的中心位置相对应，所述光感系统与所述控制系统连接，将接收的所述照明光源的光强转换为电压值发送给所述控制系统。

优选的，所述光感系统包括两个光感器件，所述不透明气泡的初始位置与两个光感器件的中间位置相对应。

优选的，两个所述光感器件间设有间隙。