[发明专利]一种减振系统及其调节方法

权利要求书

1.一种减振系统，连接在光刻机的内部框架与外部框架之间，其特征在于，所述减振系统包括减振器组件、水平度检测组件、水平度调整组件和控制系统，所述减振器组件包括固定件和安装于所述固定件上的浮动件，所述固定件安装在所述外部框架上，所述内部框架安装在所述浮动件上，所述水平度检测组件设在所述浮动件中，所述水平度调整组件设于所述浮动件与所述固定件之间，所述控制系统分别连接所述水平度检测组件和水平度调整组件；所述水平度检测组件包括由下至上依次分布的照明系统、液体系统和光感系统，所述照明系统发射的照明光源透过所述液体系统后均匀照射到所述光感系统上，所述液体系统内充满液体，所述液体内设有不透明气泡，所述不透明气泡的初始位置与所述光感系统在XY平面的中心位置相对应，所述光感系统与所述控制系统连接，将接收的所述照明光源的光强转换为电压值发送给所述控制系统。

2.根据权利要求1所述的减振系统，其特征在于，所述光感系统包括两个光感器件，所述不透明气泡的初始位置与两个所述光感器件的中间位置相对应。

3.根据权利要求2所述的减振系统，其特征在于，所述水平度检测组件设有两组，包括Rx向检测组件和Ry向检测组件，所述Rx向检测组件中的两个光感器件沿Y向水平分布，所述Ry向检测组件中的两个光感器件沿X向水平分布。

4.根据权利要求1所述的减振系统，其特征在于，两个所述光感器件间设有间隙。

5.根据权利要求1所述的减振系统，其特征在于，所述光感系统包括四个光感器件，沿所述XY平面两两水平对称分布，所述不透明气泡的初始位置与所述四个光感器件的中间位置相对应。

6.根据权利要求5所述的减振系统，其特征在于，所述光感器件沿所述XY平面的截面为扇形，四个所述光感器件依次排列围成圆形状。

7.一种采用权利要求1至6中任一项所述的减振系统的调节方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：水平度检测组件根据光照强度输出对应的电压值，并将该电压值实时传递给控制系统；

S2：所述控制系统根据实时接收的电压值计算得到电压差值变化信号，并将该信号与系统初始设定值进行比较，判断减振器组件的水平度偏置方向，并将包括该偏置方向的信息传递至水平度调整组件；

S3：所述水平度调整组件根据接收的信息对所述减振器组件进行水平度调整；

S4：重复上述步骤S1-S3。

8.根据权利要求7所述的调节方法，其特征在于，所述步骤S1中的水平度检测组件包括至少两个光感器件，所述光感器件根据光照强度输出对应的电压值，且该电压值与所述光照强度呈线性关系。

9.根据权利要求7所述的调节方法，其特征在于，所述步骤S2中判断减振器组件的水平度偏置方向具体为：当Rx向的电压差值≥系统初始设定值时，判断偏置方向为Rx向；当Ry向的电压差值≥系统初始设定值时，判断偏置方向为Ry向。