[发明专利]一种热电阻及电极的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及热敏器件的制作方法，尤其涉及一种热电阻及电极的制作方 法。

背景技术

半导体气敏元件分为烧结型、厚膜型和薄膜型。它们各自的结构，制作 工艺不同，其性能特点也各异。烧结型气敏元件有直热式和旁热式2种类型。 这2种类型的元件制作工艺都比较简单，灵敏度也高。但直热式元件由于Pt 丝与气敏材料直接接触，长期使用易改变气敏材料的化学结构，导致元件稳 定性下降。此外Pt丝用量大，成本高。旁热式元件的加热器(Ni.cr丝)不 直接接触气敏材料，相比直热式元件稳定性有所提高，而且Pt丝用量少，成 本低。但旁热式元件气敏层电阻一致性较差，给批量生产增加了困难。因此 烧结元件逐步在被厚、薄膜元件代替。厚、薄膜元件具有灵敏度高、重复性、 稳定性好、功耗低、寿命长等优点，但薄膜元件制作对工艺设备要求很高， 制造成本高，不易产业化推广。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种方法简单、操作过程简单，成本 低廉，性能稳定，易批量生产的加热热电阻及电极的制作方法。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种热电阻及电极的制作方 法，包括如下步骤：

选取Al₂O₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸；

用洗液清洗Al₂O₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用 乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；

利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的Al₂O₃衬底 上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO₂加热器，经干燥处理 后烧结成型；

同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护 浆料，烘干后烧结成型；

利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用 电极。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述选取A1₂0₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸步骤的具 体实现如下：

选取质量分数为95％～99％的A1₂0₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸。

进一步，所述用洗液清洗A1₂0₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子 水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用步骤的具体实现如下：

用洗液清洗A1₂0₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗10～ 25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60～80℃条件下的恒温箱中烘干 备用。

进一步，所述利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干 的A1₂O₃衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO₂加热器， 经干燥处理后烧结成型步骤的具体实现如下：

利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1₂O₃衬底 上印刷Au电极，经60～80℃条件下的恒温箱中干燥处理后；

在900～1100℃条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷RuO₂加热器， 相同条件下烧结成型。

本发明的有益效果是：

1.方法简单、操作过程简单，成本低廉；

2.性能稳定，易批量生产。

附图说明

图1为本发明一种热电阻及电极的制作方法流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本 发明，并非用于限定本发明的范围。

如图1所示，一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤：

选取A1₂0₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸；

用洗液清洗A1₂0₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用 乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；