[发明专利]一种热电阻及电极的制作方法

权利要求书

1.一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

选取A1₂0₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸；

用洗液清洗A1₂0₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用 乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；

利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1₂O₃衬底 上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO₂加热器，经干燥处理 后烧结成型；

同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护 浆料，烘干后烧结成型；

利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用 电极。

2.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于， 所述选取A1₂0₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸步骤的具体实现如下：

选取质量分数为95％～99％的A1₂0₃基片，用激光切割并加工成一定尺寸。

3.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于， 所述用洗液清洗A1₂0₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用 乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用步骤的具体实现如下：

用洗液清洗A1₂0₃衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗10～ 25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60～80℃条件下的恒温箱中烘干 备用。

4.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于， 所述利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1₂O₃衬底 上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO₂加热器，经干燥处理 后烧结成型步骤的具体实现如下：

利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1₂O₃衬底 上印刷Au电极，经60～80℃条件下的恒温箱中干燥处理后；

在900～1100℃条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷RuO₂加热器， 相同条件下烧结成型。