[发明专利]激光器冷却箱的洁净方法及其洁净度的检测方法

权利要求书

1.种激光器冷却箱的洁净方法，其特征在于包括如下步骤：将可能允许液体流过的通道用密封圈密封，通道连接口处用紧固件密封，水泵进出口管路分别连接激光器冷却箱冷却系统的冷却水循环回路进出水口；将纯净的乙二醇清洗液注入激光器冷却箱内，然后将注满乙二醇清洗液的激光器冷却箱放入温度调至80度的超声波清洗机中，开启超声波清洗机和水泵，使所述激光器冷却箱内的乙二醇在水泵作用下循环流动；冷却箱内的乙二醇在水泵作用下循环流动保持10-20个小时后，用取样管将激光器冷却箱内的乙二醇液体取样；选取标准乙二醇样本，用分光光度计对标准乙二醇样本和乙二醇液体取样进行透过率测试，然后将乙二醇液体取样透过率测试结果与标准乙二醇透过率进行对比，乙二醇液体取样透过率相比标准乙二醇透过率下降不超过2%的，为洁净度良好。

2.一种检测激光器冷却箱的洁净度的方法，其特征在于：打开激光器冷却箱，将标准乙二醇液体装入冷却箱内，保持20个小时后，用取样管将冷却箱内的乙二醇液体取样，并密封保存，然后用分光光度计对其透过率进行测试，并记录透过率测试结果；在冷却箱内的乙二醇在水泵作用下循环流动下并放入超声波清洗机内保持20个小时后，用取样管将冷却箱内的乙二醇液体取样，并密封保存，然后用分光光度计对其透过率进行测试，透过率测试结果与标准乙二醇透过率进行对比，通过测试乙二醇透过率的变化幅度，对冷却箱的洁净度进行定量的判断。