[发明专利]改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法在审
| 申请号： | 201510969159.9 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105574343A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 沈祖祥;王姗;冉耘瑞;陈建 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610016 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改良 西门子 还原 提高 多晶 一次 沉积 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法，其特征在于当还原炉运行 压力控制在表压0.2-0.6MPa的范围内变化，降低还原炉系统运行压力，多晶硅一次沉积率 将按下式提高：
η=η0p0/（p0-△p）
式中：
η0：原始一次沉积率
η：降低运行压力后的一次沉积率
P0：原始运行压力,P0=0MPa、0.1MPa、0.2MPa、0.3MPa、...
△p：压力降低值，△p=0MPa、0.1MPa、0.2MPa、0.3MPa、...。
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G06F19-12 ..用于系统生物学的建模或仿真，例如：概率模型或动态模型，遗传基因管理网络，蛋白质交互作用网络或新陈代谢作用网络
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