[发明专利]一种存储单元的擦除方法有效
申请号: | 201510933666.7 | 申请日: | 2015-12-15 |
公开(公告)号: | CN105551524B | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 刘会娟 | 申请(专利权)人: | 北京兆易创新科技股份有限公司 |
主分类号: | G11C16/16 | 分类号: | G11C16/16;G11C16/08;G11C16/24;G11C16/34 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬;邓猛烈 |
地址: | 100083 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 存储 单元 擦除 方法 | ||
本发明公开了一种存储单元的擦除方法,其特征在于,包括:S1、接收编程操作指令;S2、对存储单元进行选择,选中的存储单元的字线以及位线接第一编程电压,未被选中的存储单元的字线悬空,位线接电压源;S3、对选中的存储单元的字线加编程脉冲;S4、对选中的存储单元的阱CWELL加擦除电压脉冲;S5、进行编程验证,如果验证成功则结束编程操作,否则执行步骤S2。本发明实施例提供的一种存储单元的擦除方法,在每次对存储单元编程后,通过在存储单元的阱上加擦除脉冲,以实现擦除掉存储单元表层俘获的电子,进而增强存储单元对数据的保持特性。
技术领域
本发明实施例涉及存储技术领域,具体涉及一种存储单元的擦除方法。
背景技术
非易失闪存介质(nor flash/nand flash)是一种很常见的存储芯片,兼有随机存储器(Ramdom Access Memory,RAM)和只读存储器(Read Only Memory,ROM)的优点,数据掉电不会丢失,是一种可在系统进行电擦写的存储器,同时它的高集成度和低成本使它成为市场主流。Flash芯片是由内部成千上万个存储单元组成的,每个储存单元存储一位数据,多个存储单元构成页,多个页组成块,正是由于该特殊的物理结构,在nor flash/nandflash中是以页为单位进行读写数据,以块为单位进行擦除数据的。
目前主流的3D Nand Flash均是I型结构,即在叠层上打竖直向下的孔,形成I型沟道,如图1所示为现有技术中一种3D Nand Flash的切面示意图。所述图1中的存储单元处于编程状态,图2为图1对应的电路图,其中,图1和图2中的符号表示为:WL:字线;SSL:串连选择线;DMWL:冗余字线;GSL:地选择线;CWELL:存储单元的阱。当存储单元处于编程状态时,字线WL0、WL1、WL2以及WL3可以浮空或者接0V电压;串连选择线SSL浮空;地选择线GSL浮空;DMWL浮空或者接0V电压;存储单元的阱CWELL接3V电压;其中所述0V电压是指0V附件的值。这种结构的存储单元采用的是硅-氧化层-氮化层-氧化层-硅结构(Silicon OxideNitride Oxide Semiconductor,SONOS),工作原理是:通常采用沟道热电子注入(ChannelHot Electron Injection,CHE)效应或F-N隧穿效应,将电荷(通常是电子)通过隧穿氧化层注入到氮化硅层,并被氮化硅层中的电荷陷阱俘获,从而引起存储单元阀值电压的改变,达到数据存储的效果。但是由于在编程和擦除时,存在浅层和深层的存储层俘获电荷不均匀的情况,因此当所述存储单元静止不动或者被执行某些操作的过程中,浅层存储层俘获的电子由于自身的运动或其它干扰,很容易跑出俘获层,导致编程的数据发生变化,使得数据不能很好地保持住。
因此,非常有必要设计一种提高数据保持特性的方法。
发明内容
本发明提供一种存储单元的擦除方法,以提高数据的保持特性。
该方法包括:
S1、接收编程操作指令;
S2、对存储单元进行选择,选中的存储单元的字线以及位线接第一编程电压,未被选中的存储单元的字线悬空,位线接电压源;
S3、对选中的存储单元的字线加编程脉冲;
S4、对选中的存储单元的阱CWELL加擦除电压脉冲;
S5、进行编程验证,如果验证成功则结束编程操作,否则执行步骤S2。
示例性的,所述第一编程电压为-5V~10V。
进一步的,未被选中的存储单元的字线悬空,位线接电压源,包括:通过电容耦合效应,将未被选中的存储单元的字线电压提高至第二编程电压。
示例性的,所述第二编程电压为3V~15V,电压源电压为1.5V~2.5V。
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