[发明专利]一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品

说明书

本发明提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，包含：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及将软性高分子基材收入至一收卷轴。并提供利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品。相较于现有技术，本发明利用将多种金属分段接合所形成的复合靶材进行溅镀，能在软性基材上同时形成多种金属薄膜，具有缩短加工工时与工序以节省成本的效果。

技术领域

本发明关于一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品，更明确地说，关于一种利用多种金属分段形成的一复合靶材进行溅镀制程与制成品生产的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品。

背景技术

在现有技术中，卷对卷制程将以圆筒状卷收的待加工软性材料由一放卷轴将未加工的软性材料送出，途中经过加工作业，例如精密压印、贴合、镀膜、印刷等加工制程之后，再由一收卷轴将加工完成的软性材料卷收回圆筒状。由于原物料与加工完成品的收送方便，是一种高效能低成本的连续生产方式，甚受软性电子产品制造业的青睐。

其中以镀膜为例，在放卷－收卷过程中加入镀膜加工制程可用来制作软性触控面板，或是血糖试片等。而制作软性触控面板时，由于利用镀膜制程所镀上的多层导电薄膜范围几乎涵盖了整个软性材料的表面，所以需要多道镀膜作业手续才能完成。但在制作血糖试片时，由于每一片血糖试片上同时布有至少一工作电极与至少一延伸电极，且每个电极所占据的面积不一，若是以制作软性触控面板的工序来制作血糖试片时，由于每次镀膜作业都只对部分的软性材料表面加工，故需注意每次镀膜作业之间是否会相互干扰。若能找出一种能够一劳永逸的一次完成所有镀膜作业的工法制程，想必能够更为缩短制造工时与成本。

发明内容

因应前述问题，本发明的一观点在于提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及将软性高分子基材收入至一收卷轴。

其中复合靶材包含有一贵金属与一一般金属，贵金属与一般金属相互接合形成复合靶材。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为一次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为分次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材，前述分次性地溅镀方式于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，进一步包含制备该复合靶材的步骤。

其中该一般金属与该贵金属分别被溅镀至该第一电极图案与该第二电极图案。

其中该软性高分子基材包含聚对苯二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneTerephthalate,PET)与聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)。本发明的另一观点在于提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；在该贵金属薄膜与该一般金属薄膜上覆盖一阻隔层，以定义一第一电极图案与第二电极图案；除去阻隔层；于该第二电极图案上涂布一层检测物质层；以及将该软性高分子基材收入至一收卷轴。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为一次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材。