[发明专利]清洁装置

权利要求书

1.一种清洁装置，适于对一半导体产品进行清洁，该半导体产品具有多个间隔排列的导电端子，且所述导电端子之间分别形成多个间隙，其特征在于，该清洁装置包含：

一壳体；以及

一清洁头，包含：一本体，位于该壳体上，该本体包含一伸缩机构及一调整部，该伸缩机构可伸缩地位于该壳体内，并沿一轴向伸缩，该调整部活动地位于该壳体上，且连接该伸缩机构，用以控制该伸缩机构的伸缩；以及多个针脚，间隔地并排于该本体上，用以分别伸入所述导电端子的所述间隙内，其中任二相邻的所述针脚之间的空间恰容纳单一所述导电端子，所述针脚沿该轴向并排于该伸缩机构的一侧，以致所述针脚彼此间的多个间距随着该伸缩机构的伸缩进行相应的调整。

2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中该伸缩机构包含：

多个轴杆，分别连接所述针脚，且每一所述针脚的一长轴与每一所述轴杆的一长轴至少相交；

多个第一连杆；

多个第二连杆，每一所述第二连杆的一端透过所述轴杆其中之一枢接每一所述第一连杆的一端；

多个第三连杆，每一所述第三连杆的一中间区域枢接每一所述第一连杆的一中间区域；以及

多个第四连杆，每一所述第四连杆的一端透过另一所述轴杆枢接每一所述第三连杆的一端，且每一所述第四连杆的一中间区域枢接每一所述第二连杆的一中间区域，其中该调整部连接所述第一连杆其中之一的另一端与所述第三连杆其中之一的另一端，

其中，当该调整部转动所述第一连杆、所述第二连杆、所述第三连杆与所述第四连杆，使得所述第一连杆的所述中间区域与所述第四连杆的所述中间区域彼此接近时，该伸缩机构缩小所述针脚的所述间距。

3.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中该伸缩机构包含一Z型对折弹片，该Z型对折弹片的二相对端分别连接该壳体与该调整部，且具有多个第一片体部与多个第二片体部，所述第一片体部与所述第二片体部相互邻接，每一所述第一片体部与其邻接的所述第二片体部之间分别具有一邻接侧缘，其中所述针脚分别连接所述邻接侧缘，且每一所述针脚的一长轴与每一所述邻接侧缘的一长轴至少相交，

其中，当该调整部压缩该Z型对折弹片，使得所述第一片体部与所述第二片体部彼此接近时，该伸缩机构缩小所述针脚的所述间距。

4.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中该调整部为一滑块，该滑块可滑动地位于该壳体上，且连接该伸缩机构的一端，用以通过控制该伸缩机构的伸缩，调整所述针脚的所述间距。

5.如权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，其中所述针脚等距地并排于该本体上，其中所述针脚的所述间距彼此相同；以及

该壳体表面邻近该滑块的位置具有一刻度表，该刻度表具有多个刻度值，所述刻度值分别对应表示所述针脚的所述间距。

6.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中该伸缩机构具回复弹性，该调整部为一旋转螺栓，该旋转螺栓螺接于该壳体上，且该旋转螺栓抵靠该伸缩机构的一端，用以通过控制该伸缩机构的伸缩，调整所述针脚的所述间距。

7.如权利要求6所述的清洁装置，其特征在于，其中所述针脚等距地并排于该本体上，其中所述针脚的所述间距彼此相同；以及

该旋转螺栓表面具有一刻度表，该刻度表具有多个刻度值，所述刻度值分别对应表示所述针脚的所述间距。

8.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中该清洁头可拆卸地位于该壳体上。

9.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中所述针脚等距地并排于该本体上，其中所述针脚彼此间的多个间距彼此相同。

10.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中所述针脚包含抗静电材质。

11.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中每一所述针脚呈直线状、勾状、L状或尖针状。

12.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，其中每一所述针脚的一末端具有尖锐部或平面。