[发明专利]兰姆波谐振器

权利要求书

1.一种兰姆波谐振器，其特征在于，包括：

压电层，包括在第二方向上的两侧壁；

叉指电极，包括位于所述压电层上表面的顶电极和位于所述压电层下表面的底电极，所述底电极和所述顶电极均包括在所述第二方向上的多个指状物；

多个凸起结构，设置在所述压电层的所述两侧壁的侧向；和/或，

设置在所述底电极的多个指状物的下方；和/或，

设置在所述顶电极的多个指状物的上方；

其中，所述多个凸起结构使所述兰姆波谐振器的横向模式的机电耦合系数为零。

2.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述多个凸起结构包括：

多个第一凸起结构，在第一方向上对称的设置在所述两侧壁端侧的侧向；和/或

多个第二凸起结构，在所述第一方向上对称的设置在所述顶电极的多个指状物的端侧的上表面，和/或所述底电极的多个指状物的端侧的下表面；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

3.根据权利要求2所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述多个第一凸起结构和所述多个第二凸起结构在所述第一方向上相互对准，且所述多个第一凸起结构和所述多个第二凸起结构在第二方向上的侧边的长度l₀相同。

4.根据权利要求2所述的兰姆波谐振器，其特征在于，

所述多个第一凸起结构在第三方向上的长度与所述压电层的厚度相同；

所述多个第二凸起结构在所述第一方向上的长度与相应的多个指状物的宽度相同；

其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

5.根据权利要求4所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述多个第一凸起结构在所述第一方向上具有宽度W_lp，所述多个第二凸起结构在所述第三方向上具有厚度T_vp。

6.根据权利要求5所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述多个第一凸起结构和所述多个第二凸起结构在所述第三方向上在所述兰姆波谐振器上的投影，将所述兰姆波谐振器在所述第二方向上分为三个区域：第一区域、第二区域和第三区域。

7.根据权利要求6所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述第一区域和所述第三区域在所述第二方向上的长度为所述l₀。

8.根据权利要求7所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述多个第一凸起结构和所述多个第二凸起结构在第二方向上的侧边的长度l₀、所述多个第一凸起结构在所述第一方向上的宽度W_lp、所述多个第二凸起结构在所述第三方向上的厚度T_vp使所述第一区域和所述第三区域的截止频率f₀小于所述第二区域的截止频率f_e。

9.根据权利要求8所述的兰姆波谐振器，其特征在于，f_e与f₀的差值不大于f_e的2％。

10.根据权利要求8所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述多个第一凸起结构和所述多个第二凸起结构在第二方向上的侧边的长度l₀不大于所述压电层在所述第二方向上的总长度l的20％。