[发明专利]一种硅片破损检测设备及检测方法在审
申请号: | 201510837987.7 | 申请日: | 2015-11-26 |
公开(公告)号: | CN105301006A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 刘大鹏;张涛;梁善友;蒋开发;张勇 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;B07C5/34 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 破损 检测 设备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及硅片检测设备技术领域,尤其涉及一种硅片破损检测设备及检测方法。
背景技术
硅片生产是太阳能光伏产业链条中的一个重要环节。硅片产品需要进行严格的品质检查,硅片的外观形状直接影响太阳能电池的质量。在传统的技术中,有规则的硅片外形检测主要由人工肉眼去观察,或使用简单的镜头进行检测,这种利用人工肉眼检测的方式,不仅工作效率低,误检率也非常高,且在取拿硅片的过程易造成硅片的损坏和污染。
现有技术中出现了采用硅片外观自动检测系统,如公告号为CN201844980U的实用新型专利,其主要利用相机配合背光源对待检硅片进行拍摄,对拍出的照片进行分析检测是否出现破损,但其存在以下缺陷:1、硅片需利用机械手单个抓取进行上料或下料,易造成硅片的损伤,影响产品质量;2、对机械手的精度要求高,而且硅片的检测和收集不能连贯进行,工作效率较低,不适用于硅片的批量加工生产。
发明内容
为解决现有技术中存在的缺陷,本发明提出一种硅片破损检测设备及检测方法,该硅片破损检测设备可对有规则的硅片进行在线批量自动检测,且能根据检测结果自动处理硅片,设备结构简单连贯,能有效提高硅片的完整度和生产加工效率。
本发明采用的技术方案是,设计一种硅片破损检测设备,包括:机架,用于依次向后输送硅片的第一输送单元、第二输送单元和第三输送单元,用于检测硅片破损的破损检测单元,用于收集破损硅片的破损收集盒,用于控制第一输送单元、第二输送单元和第三输送单元运行状态的中央控制器。
检测单元与第一输送单元位置配合,第二输送单元的后端可向下倾斜转动,破损收集盒设于第二输送单元的后端下方。中央控制器接收破损检测单元的检测结果,并控制第二输送单元后端是否向下倾斜。
该设备还包括:用于检测本检测设备异常或下一工序设备异常的异常检测单元、用于设备异常时收集硅片的异常收集盒,异常收集盒设于第一输送单元的前端下方,第一输送单元可升降运动,中央控制器接收异常检测单元的检测结果,并控制第一输送单元是否向上升起。
检测单元包括:设于第一输送单元上方的相机、设于第一输送单元下方的背光源、接收相机所拍图像的图像分析模块,图像分析模块分析图像并将检测结果传送至中央控制器。
其中,第一输送单元底部设有升降电动件,第一输送单元的底部还设有至少一个导向机构,升降电动件可推动第一输送单元升降运动,升降电动件与中央控制器连接。
第一输送单元包括:并排设置的至少一个第一输送通道、与第一输送通道数量相同的第一马达,每个第一输送通道传动连接一个第一马达,所述第一马达可带动各自连接的第一输送通道向后运送硅片。每个第一输送通道均配合设有检测单元。
第二输送单元的后端连接有转动调节装置,该转动调节装置包括:一端铰接在第二输送单元后端的旋转板、铰接连接在所述旋转板下方的推拉电动件,推拉电动件可拉动旋转板的活动端向下倾斜,推拉电动件与中央控制器连接。
第二输送单元包括:与第一输送通道数量配合的第二输送通道、与所有第二输送通道传动连接的第二马达,第二马达可带动所有第二输送通道同步运送。每个第二输送通道的后端连接一转动调节装置。
第三输送单元包括:与第一输送通道数量配合的第三输送通道、与所有第三输送通道传动连接的第三马达,第三马达可带动所有第三输送通道同步运送。
第一输送通道、第二输送通道及第三输送通道均由两对称设置的传送带组件构成,旋转板的两侧也设有传送带组件。
本发明还公开了一种上述硅片破损检测设备的检测方法,包括以下步骤:
步骤1、设备初始化,第一输送单元位于低位,第二输送单元的转动调节装置处于水平状态,硅片从上一工序设备向第一输送单元运送;
步骤2、异常检测单元实时对本检测设备或下一工序的设备是否运行正常进行判断,若存在异常则第一输送单元上升至高位,硅片掉落至异常收集盒中,本检测设备暂停运行;
步骤3、第一输送单元内的每个第一输送通道分别将硅片运送至背光源上方,背光源点亮,各相机对硅片进行拍照,图像分析模块图像检测硅片是否破损;
步骤4、第一输送通道将硅片向后运送至第二输送通道上,若检测结果为破损则进行步骤5,若检测结果正常则进行步骤6;
步骤5、第二输送通道的转动调节装置向下转动倾斜,硅片掉落至破损收集盒中,转动调节装置复位;
步骤6、第二输送通道将硅片向后运送至第三输送通道上,第三输送通道将硅片送至下一工序的设备上。
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