[发明专利]一种微电阻测量设备及测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电阻测量设备，具体涉及一种用于对微小电阻进 行测量的微电阻测量设备及测量方法。

背景技术

在电子产品领域，为了保证出厂产品的良率，在产品生产完成后， 还需要对产品的电阻值进行测量。纯金属电阻值精密测量一般采用传 统的四联回路设备进行测量，但是在测量的过程中，传统的测量设备 对测量点的位置选取不精确，探针的压力难以控制，其可能会对测量 的电阻值产生影响。由于测量产品的电阻值十分微小，只有几毫欧或 零点几毫欧，为了提高其测量精确度，故一种微电阻测量设备及测量 方法亟待提出。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种微电阻测量设备及测 量方法，该设备与方法可以快速有效对产品进行电阻值的测量，分辨 出合格与不合格的产品，减少工人的操作复杂度，提高其检测效率。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种电阻测量设备，电阻测量设备包括：滑动平台、控制装置以 及设置于滑动平台上可沿XYZ轴三个方向运动的微电阻测试计，微 电阻测试计上设有一组或多组探针。

本发明一种微电阻测量设备采用滑动平台上的微电阻测试计对 产品进行测量。控制装置控制微电阻测试计沿XY轴运动，可以准确 有效地选取产品上的测量点进行测量，同时降低了工作人员的操作复 杂度。而控制装置控制微电阻测试计沿Z轴运动，可以有效控制微电 阻测试计上的探针与产品测量点的压力，防止两者接触不良或探针对 产品压力过大造成损伤，保证探针对产品的测量更精确。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，在滑动平台上设置有：Y轴水平组件，包括Y 轴滑块、Y轴滑轨以及Y轴驱动装置，Y轴驱动装置驱动Y轴滑块 沿Y轴滑轨运动；X轴水平组件，设置于Y轴滑块上，包括X轴滑 块、X轴滑轨以及X轴驱动装置，X轴驱动装置驱动X轴滑块沿X 轴滑轨运动；Z轴垂直组件，设置于X轴滑块上，包括Z轴滑块、Z 轴滑轨以及Z轴驱动装置，微电阻测试计设置于Z轴滑块上，Z轴驱 动装置驱动Z轴滑块沿Z轴滑轨运动。

采用上述优选的方案，结构简单，成本低。

作为优选的方案，电阻测量设备还包括：设置于滑动平台上的用 于承载或运输产品的载具。

采用上述优选的方案，便于对产品进行承载或运输。

作为优选的方案，电阻测量设备还包括温度传感器，温度传感器 与控制装置电连接。

采用上述优选的方案，温度传感器对微电阻测试计对产品进行测 量时的环境温度进行测量，对微电阻测试计测量的产品的电阻值进行 温度补偿，消除环境温度对产品电阻的影响，使其检测更精确。

作为优选的方案，电阻测量设备还包括调零母板。

采用上述优选的方案，调零母板的表面镀有贵金属，如：金、银。 传统的四联回路设备，需要工作人员将每组探针进行接触短接来实 现，操作复杂，一个工作人员难以实现。而本申请采用阻值无限小的 调零母板对微电阻测试计进行调零，操作更便捷。

作为优选的方案，调零母板水平设置于Z轴滑轨内部空腔中， 且调零母板与母板驱动装置连接，母板驱动装置驱动调零母板运动。

采用上述优选的方案，降低工作人员的操作复杂度。

作为优选的方案，调零母板包括正面和背面，正面为金属检测面， 背面上设有卡槽，卡槽内铰接有用于支撑调零模板的支撑脚。

采用上述优选的方案，支撑脚对调零模板进行良好的支撑，保证 其调零更有效。

一种微电阻测量方法，利用微电阻测量设备进行测量，微电阻测 量方法具体包括以下步骤：

1)利用调零母板将每组探针进行调零；

2)将产品设置于载具上；

3)控制装置控制微电阻测试计沿X轴和Y轴两个方向进行运动， 到达产品的上方；

4)控制装置控制微电阻测试计沿Z轴向下运动，微电阻测试计 的探针与产品的测量点接触，得到产品的第一电阻值；

5)温度传感器对产品的所处温度进行检测，并将检测得到的温 度信号传递于控制装置；

6)控制装置对温度信号进行分析，并对第一电阻值进行合理补 偿，得到第二电阻值；

7)控制装置对第二电阻值进行分析，判断该产品质量是否合格；

8)重复步骤3)-步骤7)，选取产品上的不同测量点进行测量。