[发明专利]一种微电阻测量设备及测量方法

权利要求书

1.一种电阻测量设备，其特征在于，所述电阻测量设备包括：滑动平 台、控制装置以及设置于所述滑动平台上可沿XYZ轴三个方向运动的微 电阻测试计，所述微电阻测试计上设有一组或多组探针。

2.根据权利要求1所述的电阻测量设备，其特征在于，在所述滑动平 台上设置有：

Y轴水平组件，包括Y轴滑块、Y轴滑轨以及Y轴驱动装置，所述 Y轴驱动装置驱动所述Y轴滑块沿所述Y轴滑轨运动；

X轴水平组件，设置于所述Y轴滑块上，包括X轴滑块、X轴滑轨 以及X轴驱动装置，所述X轴驱动装置驱动所述X轴滑块沿所述X轴 滑轨运动；

Z轴垂直组件，设置于所述X轴滑块上，包括Z轴滑块、Z轴滑轨 以及Z轴驱动装置，所述微电阻测试计设置于所述Z轴滑块上，所述Z 轴驱动装置驱动所述Z轴滑块沿Z轴滑轨运动。

3.根据权利要求1或2所述的电阻测量设备，其特征在于，所述电阻 测量设备还包括：设置于所述滑动平台上的用于承载或运输产品的载具。

4.根据权利要求1或2所述的电阻测量设备，其特征在于，所述电阻 测量设备还包括温度传感器，所述温度传感器与所述控制装置电连接。

5.根据权利要求1或2所述的电阻测量设备，其特征在于，所述电阻 测量设备还包括调零母板。

6.根据权利要求5所述的电阻测量设备，其特征在于，所述调零母板 水平设置于所述Z轴滑轨内部空腔中，且所述调零母板与母板驱动装置 连接，所述母板驱动装置驱动所述调零母板运动。

7.根据权利要求6所述的电阻测量设备，其特征在于，所述调零母板 包括正面和背面，所述正面为金属检测面，所述背面上设有卡槽，所述 卡槽内铰接有用于支撑所述调零模板的支撑脚。

8.一种微电阻测量方法，其特征在于，利用权利要求5-7任一项所述 微电阻测量设备进行测量，所述微电阻测量方法具体包括以下步骤：

1)利用调零母板将每组探针进行调零；

2)将产品设置于载具上；

3)控制装置控制微电阻测试计沿X轴和Y轴两个方向进行运动， 到达产品的上方；

4)控制装置控制微电阻测试计沿Z轴向下运动，微电阻测试计的探 针与产品的测量点接触，得到产品的第一电阻值；

5)温度传感器对产品的所处温度进行检测，并将检测得到的温度信 号传递于所述控制装置；

6)所述控制装置对温度信号进行分析，并对第一电阻值进行合理补 偿，得到第二电阻值；

7)控制装置对第二电阻值进行分析，判断该产品质量是否合格；

8)重复步骤3)-步骤7)，选取产品上的不同测量点进行测量。

9.根据权利要求8所述的电阻测量设备，其特征在于，所述步骤1) 具体包括以下步骤：

1.1)所述母板驱动装置驱动所述调零母板从所述Z轴滑轨内部空腔 中伸出；

1.2)所述控制装置控制所述微电阻测试计沿Z轴方向向下运动，所 述微电阻测试计的每组探针与所述调零母板接触；

1.3)控制装置进行调零。

10.根据权利要求9所述的电阻测量设备，其特征在于，所述步骤1.1) 还包括：所述母板驱动装置驱动所述调零母板从所述Z轴滑轨内部空腔 中伸出；伸出后，工作人员将所述调零母板背面的支撑脚转出，对所述 调零母板进行支撑。