[发明专利]磁控直流溅射系统内的冷却装置

权利要求书

1.一种磁控直流溅射系统内的冷却装置，其包括有冷却腔室，以及延伸至冷却腔室内的传输轨道；所述冷却腔室内部设置有多个喷气管道，其连通至设置在冷却腔室外部的氮气容器内；其特征在于，所述冷却腔室包括有进料口与出料口，冷却腔室之中，进料口的对应位置设置有辅助冷却室，辅助冷却室内部设置有夹层，夹层内部设置有冷却管道，冷却管道连通至设置在冷却腔体外部的冷却水槽。

2.按照权利要求1所述的磁控直流溅射系统内的冷却装置，其特征在于，所述辅助冷却室采用环形结构，其环绕传输轨道进行分布，辅助冷却室与传输轨道上端面之间的距离至多为10厘米。

3.按照权利要求2所述的磁控直流溅射系统内的冷却装置，其特征在于，所述辅助冷却室内部设置有多个辅助喷气管道，其连通至设置在冷却腔体外部的空气压缩机。

4.按照权利要求3所述的磁控直流溅射系统内的冷却装置，其特征在于，所述辅助冷却室内设置有至少4个辅助喷气管道，其对称分布于传输轨道的两侧，每一个辅助喷气管道均朝向传输轨道的上端面进行延伸。