[发明专利]基板保持装置

说明书

本发明提供一种改良后的基板保持装置，即使对弹簧施加较大的离心力，也能够使弹簧的变形为最小，其中，该弹簧用于对支承基板的支柱施力。基板保持装置具有：支柱(2)，其在轴向上移动自如；夹头(3)，其设置于支柱(2)，夹持基板W的周缘部；弹簧(30)，其对支柱(2)向该支柱(2)的轴向施力；第1构造体(31)，其限制弹簧(30)的上侧部位向与轴向垂直的方向移动；以及第2构造体(33)，其限制弹簧(30)的下侧部位向与轴向垂直的方向移动。

技术领域

本发明涉及保持晶片等基板的基板保持装置。

背景技术

像专利文献1公开的那样，公知有保持晶片等基板的周缘部并使其旋转的基板保持装置。这种基板保持装置应用于一边使基板旋转一边向基板的表面喷涂IPA蒸气而使该基板干燥的干燥装置等处理装置。

上述的基板保持装置具有用于支承基板的周缘部的多个支柱。这些支柱沿着基板的周缘部配置。在支柱的周围配置有弹簧，通过该弹簧，支柱被向下方施力。并且，通过升降机使支柱上升。在将基板从搬运用自动装置交给基板保持装置时，支柱抵抗弹簧的力而被升降机上升。在基板保持装置一边旋转基板，一边处理该基板时，升降机下降并且支柱被弹簧下压。

在基板的处理中，基板绕其轴心旋转。最近为了提高基板处理的生产量，要求使基板以更高速旋转。然而，在使基板以高速旋转时，对以包围支柱的方式配置的弹簧作用较强的离心力，弹簧向外侧发生变形。此时，在弹簧中产生较大的应力，弹簧产生疲劳。结果为，弹簧有时会在到达预计的寿命前断裂。

并且，在基板以高速旋转时，有时对支柱也作用较强的离心力，支柱的端部向外侧位移。结果为，由支柱支承的基板有可能变得不稳定。

现有专利文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-295751号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明是为了解决上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种改良后的基板保持装置，即使对弹簧施加较大的离心力，也能够使弹簧的变形为最小，其中，该弹簧用于对支承基板的支柱施力。

并且，本发明的目的在于，提供一种基板保持装置，能够防止支承基板的支柱向外侧位移。

用于解决课题的手段

为了达成上述的目的，本发明的一个方式提供一种基板保持装置，其中，该基板保持装置具有：支柱，该支柱在轴向上移动自如；夹头，该夹头设置于所述支柱，并且夹持基板的周缘部；弹簧，该弹簧对所述支柱向所述支柱的轴向施力；第1构造体，该第1构造体限制所述弹簧的上侧部位向与所述轴向垂直的方向移动；以及第2构造体，该第2构造体限制所述弹簧的下侧部位向与所述轴向垂直的方向移动。

本发明优选的方式的特点在于，所述第1构造体具有包围所述弹簧的上侧部位的内周面，所述第2构造体配置在所述弹簧的内侧，并且具有支承所述弹簧的下侧部位的外周面。

本发明优选的方式的特点在于，所述第1构造体配置在所述弹簧的内侧，并且具有支承所述弹簧的上侧部位的外周面，所述第2构造体具有包围所述弹簧的下侧部位的内周面。

本发明优选的方式的特点在于，所述支柱能够相对于所述第2构造体相对地旋转。

本发明优选的方式的特点在于，该基板保持装置还具有：移动机构，该移动机构抵抗所述弹簧的力而使所述支柱在其轴向上移动；以及旋转机构，该旋转机构随着所述支柱在轴向上的移动而使所述支柱绕其轴心旋转。

本发明优选的方式的特点在于，所述支柱、所述夹头、所述弹簧、所述第1构造体以及所述第2构造体分别设置多个，该基板保持装置还具有将所述多个支柱彼此连结的连结环。