[发明专利]基板保持装置

权利要求书

1.一种基板保持装置，其特征在于，该基板保持装置具有：

支柱，该支柱在轴向上移动自如；

夹头，该夹头设置于所述支柱，并且夹持基板的周缘部；

弹簧，该弹簧是单个弹簧，且对所述支柱向所述支柱的轴向施力；

第1构造体，该第1构造体具有包围所述弹簧的上侧部位的内周面，从而该第1构造体通过所述内周面限制基板旋转时的所述弹簧的上侧部位向与所述轴向垂直的方向移动；以及

第2构造体，该第2构造体配置在所述弹簧的内侧，并且具有支承所述弹簧的下侧部位的外周面，从而该第2构造体通过所述外周面限制基板旋转时的所述弹簧的下侧部位向与所述轴向垂直的方向移动。

2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

所述内周面包围所述弹簧的上半部分，

所述第2构造体以在所述支柱抵抗所述弹簧的力而上升时该第2构造体插入到所述第1构造体内的方式配置在所述弹簧的内侧。

3.根据权利要求1或2所述的基板保持装置，其特征在于，

所述支柱能够相对于所述第2构造体相对地旋转。

4.根据权利要求3所述的基板保持装置，其特征在于，该基板保持装置还具有：

移动机构，该移动机构抵抗所述弹簧的力而使所述支柱在其轴向上移动；以及

旋转机构，该旋转机构随着所述支柱在轴向上的移动而使所述支柱绕其轴心旋转。

5.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

所述支柱、所述夹头、所述弹簧、所述第1构造体以及所述第2构造体分别设置多个，

该基板保持装置还具有将多个所述支柱彼此连结的连结环。

6.根据权利要求5所述的基板保持装置，其特征在于，

多个所述支柱和多个所述夹头沿着所述基板的周缘部排列。

7.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

所述第1构造体配置于所述弹簧的上侧部位的外侧，构成为防止所述弹簧向外侧变形。

8.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

在所述第2构造体的外周面与所述第1构造体的内周面之间形成有圆筒状的空间，压缩后的所述弹簧收容在所述圆筒状的空间内。

9.一种基板保持装置，其特征在于，该基板保持装置具有：

支柱，该支柱在轴向上移动自如；

夹头，该夹头设置于所述支柱，并且夹持基板的周缘部；

弹簧，该弹簧对所述支柱向所述支柱的轴向施力；

第1构造体，该第1构造体限制所述弹簧的上侧部位向与所述轴向垂直的方向移动；以及

第2构造体，该第2构造体限制所述弹簧的下侧部位向与所述轴向垂直的方向移动，

所述第1构造体配置在所述弹簧的内侧，并且构成为具有支承所述弹簧的上侧部位的外周面，从而限制基板旋转时的所述弹簧的上侧部位向与所述轴向垂直的方向移动，

所述第2构造体构成为具有包围所述弹簧的下侧部位的内周面，从而限制基板旋转时的所述弹簧的下侧部位向与所述轴向垂直的方向移动。

10.根据权利要求9所述的基板保持装置，其特征在于，

所述支柱能够相对于所述第2构造体相对地旋转。

11.根据权利要求10所述的基板保持装置，其特征在于，该基板保持装置还具有：

移动机构，该移动机构抵抗所述弹簧的力而使所述支柱在其轴向上移动；以及

旋转机构，该旋转机构随着所述支柱在轴向上的移动而使所述支柱绕其轴心旋转。

12.根据权利要求9所述的基板保持装置，其特征在于，

所述支柱、所述夹头、所述弹簧、所述第1构造体以及所述第2构造体分别设置多个，

该基板保持装置还具有将多个所述支柱彼此连结的连结环。