[发明专利]基板液处理装置

权利要求书

1.一种基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置包括：

液处理部，其用于使用处理液来对基板进行处理；

第1排气管，其至少一部分配置于比所述液处理部靠上方的位置；以及

第2排气管，其一端侧与所述液处理部相连接，用于利用排气机构经由所述第1排气管对所述液处理部进行排气，

所述第2排气管的另一端侧与所述第1排气管的配置于比所述液处理部靠上方的位置的部分相连接，

所述液处理部具有用于供给多种处理液的处理液供给部，

所述第1排气管具有多个与所述多种处理液中的至少1种处理液相对应的独立排气管，

该基板液处理装置还包括排气切换单元，该排气切换单元用于将在所述第2排气管内流动的排气的流出目的地切换为所述独立排气管中的任意一个独立排气管，

所述排气切换单元配置于比所述液处理部靠上方的位置，

在所述液处理部的底部形成用于对所述液处理部进行排气的排气口和用于对所述液处理部进行排液的排液口，其中所述第2排气管的所述一端侧与所述排气口相连接，

所述第2排气管具有自所述排气口水平地延伸的水平部和设于该水平部的下游侧且朝向上方延伸的上升部，在该上升部的最下方位置设有用于将所述第2排气管内的液体向外部排出的排放部，以及

所述排气切换单元包括排气导入部、外部气体导入部、以及分别与各个独立排气管相对应的多个切换机构和多个流出部，其中，所述排气导入部使自所述第2排气管导入的排气向各个切换机构流入，各个切换机构构成为通过使设于内部的阀芯工作而在将所述排气导入部和所述流出部相连通的状态与将所述外部气体导入部和所述流出部相连通的状态之间切换。

2.根据权利要求1所述的基板液处理装置，其特征在于，

所述排气切换单元配置于所述独立排气管的上部。

3.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置包括：

多层地配置的多个所述液处理部；以及

以与多个所述液处理部的各层相对应的方式设置的多个第1排气管，

所述第1排气管配置于比配置在所对应的层的所述液处理部靠上方的位置和比配置在所对应的层的上一层的所述液处理部靠下方的位置。

4.根据权利要求3所述的基板液处理装置，其特征在于，

分别与多个所述液处理部对应的多个所述第2排气管配置于多个所述液处理部的相同侧。

5.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置包括：

输送部，其用于输送所述基板；以及

沿着所述输送部并列配置的多个所述液处理部，

所述第1排气管配置于多个所述液处理部所并列配置的区域的上方。

6.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置包括：

输送部，其用于输送所述基板；以及

沿着所述输送部并列配置的多个所述液处理部，

所述第1排气管配置于所述输送部的上方。

7.根据权利要求1或2所述的基板液处理装置，其特征在于，

该基板液处理装置包括框构造体，该框构造体具有多个柱部和多个梁部，而将所述液处理部收纳在由所述柱部和所述梁部形成的收纳空间内，

所述第1排气管配置于所述框构造体的上部。