[发明专利]QLED与TFT集成器件及其制备方法在审
申请号: | 201510660658.X | 申请日: | 2015-10-12 |
公开(公告)号: | CN105206641A | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 肖标;闫晓林 | 申请(专利权)人: | TCL集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L27/12;H01L33/06;H01L21/84 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 516006 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | qled tft 集成 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种QLED与TFT集成器件,包括TFT阵列基板和QLED,所述TFT阵列基板包括从下往上依次设置的衬底、栅极、绝缘层、半导体层和源/漏极层,所述源/漏极层包括互不接触的源极和漏极,所述QLED包括底电极、量子点发光层和顶电极,其特征在于,以所述TFT阵列基板的源极或漏极作为所述QLED的底电极,在所述源极或所述漏极上依次层叠设置有量子点发光层和顶电极。
2.如权利要求1所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述QLED还包括空穴注入层、空穴传输层、电子注入层和电子传输层的至少一层。
3.如权利要求1所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述半导体层为P型半导体层或N型半导体层。
4.如权利要求1-3任一所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述半导体层为P型半导体层,以所述TFT阵列基板的漏极作为所述QLED的底电极,且所述QLED包括在所述漏极上依次层叠设置的空穴注入层、空穴传输层、量子点发光层、电子传输层、电子注入层和顶电极,其中,所述顶电极为功函数<4.8的金属层,所述源极和所述漏极为功函数>4.8的金属层。
5.如权利要求4所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述衬底为透明衬底;所述栅极为透明金属层;所述漏极的厚度为20-30nm;所述顶电极的厚度>60nm;所述绝缘层的透光率>70%。
6.如权利要求5所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述衬底为玻璃衬底;和/或
所述栅极为ITO;和/或
所述顶电极的厚度>100nm;和/或
所述绝缘层为聚合物介电材料层。
7.如权利要求4所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述栅极为不透明金属层;所述漏极的厚度>60nm;所述顶电极的厚度为20-30nm;所述绝缘层为非透明绝缘层。
8.如权利要求7所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述漏极的厚度>100nm;和/或
所述绝缘层为氧化硅材料层。
9.如权利要求1-3任一所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述半导体层为N型半导体层,以所述TFT阵列基板的源极作为所述QLED的底电极,且所述QLED包括在所述源极上依次层叠设置的电子注入层、电子传输层、量子点发光层、空穴传输层、空穴注入层和顶电极,其中,所述顶电极为功函数>4.8的金属层,所述源极和所述漏极为功函数<4.8的金属层。
10.如权利要求9所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述衬底为透明衬底;所述栅极为透明金属层;所述源极的厚度为20-30nm;所述顶电极的厚度>60nm;所述绝缘层的透光率>70%。
11.如权利要求10所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述衬底为玻璃衬底;和/或
所述栅极为ITO;和/或
所述顶电极的厚度>100nm;和/或
所述绝缘层为聚合物介电材料层。
12.如权利要求9所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述栅极为不透明金属层;所述源极的厚度>60nm;所述顶电极的厚度为20-30nm;所述绝缘层为非透明绝缘层。
13.如权利要求12所述的QLED与TFT集成器件,其特征在于,所述漏极的厚度>100nm;和/或
所述绝缘层为氧化硅材料层。
14.一种QLED与TFT集成器件的制备方法,包括以下步骤:
提供一TFT背板;
在所述TFT背板的源极或漏极上依次沉积量子点发光层和顶电极。
15.如权利要求14所述的QLED与TFT集成器件的制备方法,其特征在于,还包括沉积空穴注入层、空穴传输层、电子注入层和电子传输层的至少一层。
16.如权利要求14所述的QLED与TFT集成器件的制备方法,其特征在于,所述TFT背板的制备方法包括以下步骤:
提供一衬底;
在所述衬底上形成栅极;
在所述栅极上依次形成绝缘层和半导体层;
在所述半导体层上沉积源/漏极层,所述源/漏极层包括互不接触的源极和漏极。
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