[发明专利]低温泵

说明书

本申请主张基于2014年10月7日申请的日本专利申请第2014-206158号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

作为低温泵的用途之一，有如溅射装置那样的真空处理装置。在真空处理装置中，可以反复执行一种真空工艺。低温泵在这种装置中的主要作用是持续保持适合于真空工艺的真空度。低温泵用于在上一次工艺和下一次工艺之间的装置的临时待机期间将真空度恢复至运许开始该工艺的适当的水平。恢复真空度所需时间称作再生时间。再生时间越短，越能够提前开始下一次的工艺，因此装置的生产率会提高。因此，希望再生时间尽可能较短。只要加大低温泵的排气速度即可缩短再生时间。因此，作为一种方法通常提高低温泵吸气口的开口率。

专利文献1：日本特开2010-84702号公报

专利文献2：日本特开2013-160105号公报

由于低温泵为捕集式真空泵，因此通过低温泵的真空排气运行气体会蓄积在低温泵。随着气体的蓄积，低温泵的排气速度逐渐降低，与此同时，再生时间也逐渐变长。因此，为了从低温泵排出蓄积的气体从而使排气速度及再生时间恢复到初期的水平，定期进行低温泵的再生。从前一次再生结束之后到进行下一次再生的真空排气运行期间又被称作再生间隔。

如上所述，以往认为提高低温泵吸气口的开口率有助于缩短再生时间。然而，本发明人发现这种见解在再生间隔的后期并不合理。实际上，在再生间隔的后期，若开口率较大，则反而会促使再生时间的增加。

发明内容

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于，根据不同于以往见解的新的见解，抑制真空处理装置中的再生时间的增加，并延长低温泵的再生间隔，从而提高真空处理装置的生产率。

根据本发明的一种实施方式的低温泵具备：低温泵容器，确定低温泵吸气口；制冷机，具备容纳于所述低温泵容器中的第1冷却台及第2冷却台，所述第2冷却台冷却至低于所述第1冷却台的温度的温度；第1低温板，与所述第1冷却台热连接，并被所述低温泵容器包围；及第2低温板，与所述第2冷却台热连接，并被所述第1低温板包围。所述第1低温板具备入口低温板，该入口低温板在所述低温泵吸气口处具有入口开口部。所述入口开口部以所述入口低温板的气传导率与所述低温泵吸气口的开口气传导率的比例成为6％以下的方式形成于所述入口低温板。

另外，在方法、装置、系统等之间相互置换本发明的构成要件或表现形式，作为本发明的方式也同样有效。

根据本发明，能够抑制真空处理装置中的再生时间的增加，且能够延长低温泵的再生间隔。

附图说明

图1是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧剖视图。

图2是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的第2低温板的顶板的俯视图。

图3是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的第1低温板的板部件的俯视图。

图4是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的排气运行中的低温泵的图。

图5是例示本发明的一种实施方式所涉及的一种再生间隔中的再生时间的变化的示意图。

图6是示意地表示比较例所涉及的板部件的俯视图。

图7是示意地表示本发明的其他实施方式所涉及的第1低温板的板部件的俯视图。

图中：10-低温泵，12-吸气口，16-制冷机，18-第1低温板，20-第2低温板，22-第1冷却台，24-第2冷却台，32-板部件，38-低温泵容器，54-小孔。

具体实施方式

以下，参考附图，对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在以下说明中，对相同的要件标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，以下所述的结构为示例，并不限定本发明的范围。

图1是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温泵10的主要部分的侧剖视图。低温泵10例如安装于真空处理装置的真空腔室，其用于将真空腔室内部的真空度提高到所需工艺所要求的水平。安装有低温泵10的真空处理装置例如为溅射装置。溅射装置中的工艺气体压力例如在1mTorr至10mTorr的范围。

低温泵10具有用于接收气体的吸气口12。应排出的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入低温泵10的内部空间14。图1示出低温泵10的内部空间14的包含中心轴A的剖面。