[发明专利]低温泵

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温泵容器，其确定低温泵吸气口；

制冷机，具备容纳于所述低温泵容器中的第1冷却台及第2冷却台，所述第2冷却台冷却至低于所述第1冷却台的温度的温度；

第1低温板，与所述第1冷却台热连接，并被所述低温泵容器包围；及

第2低温板，与所述第2冷却台热连接，并被所述第1低温板包围，

所述第1低温板具备入口低温板，该入口低温板在所述低温泵吸气口处具有入口开口部，

所述入口开口部以所述入口低温板的气传导率与所述低温泵吸气口的开口气传导率的比例成为6％以下的方式形成于所述入口低温板。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述入口开口部以所述入口低温板的气传导率与所述低温泵吸气口的开口气传导率的比例成为1％以上或4％以上的方式形成于所述入口低温板。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述入口低温板具备配置于所述低温泵吸气口的有孔部件，所述入口开口部为形成于所述有孔部件上的至少一个开口，

所述至少一个开口与所述低温泵吸气口的面积比为6％以下。

4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述面积比为1％以上或4％以上。

5.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述有孔部件为覆盖所述低温泵吸气口的单一的有孔板。

6.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述低温泵吸气口为具有第1直径的圆形开口，

所述有孔部件具备具有直径小于所述第1直径的第2直径的圆形板、以及与所述圆形板一同覆盖所述低温泵吸气口的圆环板，所述至少一个开口形成于所述圆形板。

7.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，

所述至少一个开口为多个孔。

8.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述低温泵吸气口的直径在180mm至340mm的范围。

9.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

确定所述入口开口部的所述入口低温板的侧面为黑色。

10.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述入口低温板配置在比确定所述低温泵吸气口的低温泵容器的前端更靠上方的位置。