[发明专利]多晶太阳能电池背部钝化工艺

权利要求书

1.多晶太阳能电池背部钝化工艺，其特征在于：顺序进行酸制绒、硼扩散、背部钝化、刻蚀、第一次去PSG、磷扩散、激光刻槽、第二次去PSG、正面钝化、丝网印刷，在酸制绒过程使用添加剂，硼扩散过程，N2流量20slm，激光刻槽中开槽宽度为1.9毫米，采用双线200kHz的激光频率,5m/s的传送速度,32A电流,进行激光刻槽，刻蚀需要手动装卸片，电池正面向下，开启水膜，HF酸浓度为7%，滚轮速度为1m/min，刻蚀深度1.0-1.2um。

2.根据权利要求1所述的多晶太阳能电池背部钝化工艺，其特征在于：添加剂中含：聚乙二醇10-20克/升，异丙醇20-50克/升，碳酸钠0-2克/升，氢氧化钠0-1克/升，柠檬酸钠0-1克/升，果糖钠0-1克/升，纤维素0-3克/升，亚硫酸钠10-20克/升，乳酸钠5-10克/升，木质素磺酸盐0-3克/升，余量为水，其中碳酸钠、氢氧化钠、柠檬酸钠、果糖钠浓度之和为1-3克/升，纤维素与木质素磺酸盐浓度之和为1-3克/升。