[发明专利]一种表面活性剂及用于彩色滤光片负性光刻胶的显影液在审
申请号: | 201510618717.7 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN105093862A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 江磊;金旭 | 申请(专利权)人: | 富士胶片电子材料(苏州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32;G03F7/038 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 赵红 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面活性剂 用于 彩色 滤光 片负性 光刻 显影液 | ||
1.一种表面活性剂,其特征在于,所述表面活性剂为嵌段式聚醚非离子表面活性剂,是通式为的聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段聚合物,其中EO为聚氧乙烯链段,PO为聚氧丙烯链段,所述聚氧乙烯链段和所述聚氧丙烯链段在所述通式中的键合位置是任意确定的,m和n的取值不同时为0,m和n为整数。
2.根据权利要求1所述的表面活性剂,其特征在于,所述通式中键合位置为聚氧丙烯链段位于聚醚末端,所述聚醚为EO段或PO段,所述末端是指远离R1的一端;R1为C1-C18的脂肪烃基或芳香烃基;R2为C1-C18的脂肪烃基或芳香烃基;x为0-5的整数,m为0-20的整数,n为0-10的整数,m和n的取值不同时为0,0<(m+n)≤30。
3.根据权利要求2所述的表面活性剂,其特征在于,R1为C6-C15的脂肪烃基或芳香烃基;R2为C6-C15的脂肪烃基或芳香烃基;x为1-4的整数,m为4-15的整数,n为1-5的整数,4≤(m+n)≤16。
4.根据权利要求1所述的表面活性剂的制备方法,其特征在于,往循环乙氧基化反应器中加入聚氧乙烯醚非离子表面活性剂和碱性物质,在惰性气体保护下加热,通入环氧丙烷控温反应,反应完全后用酸性物质中和得到表面活性剂。
5.根据权利要求4所述的表面活性剂的制备方法,其特征在于,所述碱性物质为氢氧化钠;所述惰性气体为氮气;所述加热的温度为升温至120℃;所述控温反应的控制温度在130~140℃,压力在0.4~0.6MPa;所述反应完全后保温至压力降至常压;所述酸性物质为醋酸,所述中和至pH值为6~7。
6.一种用于彩色滤光片负性光刻胶的显影液,其特征在于,包括:强碱、嵌段式聚醚非离子表面活性剂、纯净水,所述嵌段式聚醚非离子表面活性剂为权利要求1-4任一所述的表面活性剂。
7.根据权利要求6所述的显影液,其特征在于,所述显影液还包括助剂,所述助剂为络合剂、抗氧剂、抗菌剂中的一种或多种;所述强碱为无机碱、有机碱或二者混合物,所述无机碱为氨水、碱金属氢氧化物、碱土金属氢氧化物、碱金属碳酸盐、碱金属硅酸盐、碱金属磷酸盐中的一种或多种,所述有机碱为季铵碱、碱金属醇化物中的一种或多种。
8.根据权利要求7所述的显影液,其特征在于,所述无机碱为NH3·H2O、LiOH、NaOH、KOH、Ba(OH)2、Na2SiO3、K2SiO3、Na2CO3、K2CO3、Na3PO4、K3PO4中的一种或多种,所述有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、乙醇钠、乙醇钾中的一种或多种。
9.根据权利要求6所述的显影液,其特征在于,所述强碱在所述显影液中所占的质量分数为4.0-20.0%;所述嵌段式聚醚非离子表面活性剂在所述显影液中所占的质量分数为1.0-10.0%;所述纯净水是经过反向渗透法制取的纯净水,电导率为2-20μS/cm。
10.根据权利要求9所述的显影液,其特征在于,所述强碱在所述显影液中所占的质量分数为6.0-16.0%;所述嵌段式聚醚非离子表面活性剂在所述显影液中所占的质量分数为2.0-6.0%;所述纯净水的电导率为5-15μS/cm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片电子材料(苏州)有限公司,未经富士胶片电子材料(苏州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510618717.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种移除光刻胶的方法
- 下一篇:一种光刻套准补正的方法