[发明专利]一种双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510599889.4 申请日: 2015-09-18
公开(公告)号: CN105038688B 公开(公告)日: 2018-05-22
发明(设计)人: 李洪峰;曲春艳;王德志;冯浩;杨海冬;宿凯;刘长威;肖万宝;张杨;王海民 申请(专利权)人: 黑龙江省科学院石油化学研究院
主分类号: C09J179/08 分类号: C09J179/08;C09J11/08;C09J11/04
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 侯静
地址: 150040 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 马来 亚胺 树脂 基缓蚀底胶 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶,其特征在于双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶按照重量份数是由5~10份的双马来酰亚胺树脂、2~8份的扩链共聚合改性剂、2~8份的增韧改性剂、0.1~0.5份偶联剂、0.1~0.5份抑制腐蚀剂和75~100份溶剂组成;

扩链共聚合改性剂是由烯丙基甲酚、烯丙基醚化酚醛、二烯丙基双酚A和二烯丙基双酚S一种或几种按任意比例组成;

增韧改性剂由反应型核壳橡胶和嵌段共聚物中的一种或几种按任意比例组成;

核壳橡胶采用带反应型官能团的甲基丙烯酸缩水甘油酯或甲基丙烯酸二胺乙酯对壳层聚合物进行活化,所述的核壳橡胶是由以聚丙烯酸丁酯为核聚甲基丙烯酸甲酯为壳、丁苯橡胶为核聚甲基丙烯酸甲酯为壳、聚丁二烯橡胶为核聚甲基丙烯酸甲酯为壳和有机硅橡胶为核聚甲基丙烯酸甲酯为壳的核壳橡胶中的一种或几种按任意比例组成;嵌段共聚物是由甲基丙烯酸甲酯-丁二烯-苯乙烯、苯乙烯-甲基丙烯酸甲酯中的一种或几种按任意比例组成;

硅烷偶联剂是由γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲基硅烷、甲基三叔丁基过氧硅烷中的一种或几种按任意比组成;

抑制腐蚀剂是由铬酸锶、磷酸锌、磷酸铝、钼酸锌中的一种或几种按任意比例组成;

所述的双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶与双马树脂结构胶膜J-188、J-270、J-299或J-345配合使用。

2.根据权利要求1所述的一种双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶,其特征在于双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶按照重量份数是由5~8份的双马来酰亚胺树脂、2~5份的扩链共聚合改性剂、2~5份的增韧改性剂、0.1~0.4份偶联剂、0.1~0.4份抑制腐蚀剂和80~100份溶剂组成。

3.根据权利要求1或2所述的一种双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶,其特征在于双马来酰亚胺树脂是由4,4'-双马来酰亚胺二苯甲烷、1,4-二(4-马来酰亚胺)苯醚基苯和4,4' -二(4-马来酰亚胺)苯醚基双酚A中的一种或几种按任意比例组成。

4.根据权利要求1或2所述的一种双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶 ,其特征在于溶剂是由溶剂A和溶剂B组成;所述的溶剂是由溶剂A和溶剂B按质量比为1:1~5组成,所述的溶剂A的沸点高于溶剂B的沸点;所述的溶剂A为环己酮、N,N二甲基甲酰胺、N,N二甲基乙酰胺或N-甲基吡咯烷酮;所述的溶剂B为乙酸乙酯、丙酮或甲基乙基酮。

5.制备权利要求1所述的一种双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶的方法,其特征在于双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶制备方法按照以下步骤进行:

一、按质量份称取5~10份的双马来酰亚胺树脂、2~8份的扩链共聚合改性剂、2~8份的增韧改性剂、0.1~0.5份偶联剂、0.1~0.5份抑制腐蚀剂和75~100份溶剂;

二、将步骤一称取的增韧改性剂与扩链共聚合改性剂粗混,在辊温为40℃~50℃的三辊研磨机上研磨3~5次,得到增韧树脂;将增韧树脂倒入带有温度计和搅拌装置的三口瓶中加热至135℃~140℃,搅拌状态下加入步骤一称取的双马来酰亚胺树脂,在搅拌速度为150rpm~200rpm、温度为135℃条件下搅拌至双马来酰亚胺树脂全部溶解后,继续在135℃下反应30 min,得到增韧后的双马来酰亚胺底胶主体树脂,倒出,冷却备用;

三、将步骤二得到的增韧后的双马来酰亚胺底胶主体树脂溶于溶剂A中,充分搅拌至其全部溶解于溶剂A,得A溶液;

四、将步骤一称取偶联剂和抑制腐蚀剂加入到溶剂B中,得B溶液;

五、将B溶液倒入A溶液中,在密闭的搅拌装置中混合搅拌均匀,即得双马来酰亚胺树脂基缓蚀底胶;所述的溶剂是由溶剂A和溶剂B按质量比为1:1~5,所述的溶剂A的沸点高于溶剂B的沸点;所述的溶剂A为环己酮、N,N二甲基甲酰胺、N,N二甲基乙酰胺或N-甲基吡咯烷酮;所述的溶剂B为乙酸乙酯、丙酮或甲基乙基酮。

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