[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置

说明书

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。本发明提供一种通过利用接触清洗单元去除玻璃基板上的含有清洁剂的液体而能够抑制黑色矩阵剥落的玻璃基板的制造方法等。本发明涉及一种表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用的玻璃基板的制造方法，该方法具备以下步骤：清洗步骤，对玻璃基板供给含有添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗；冲洗步骤，使冲洗液渗透到清洗步骤中附着在所述玻璃基板的表面的清洗液中；及去除步骤，通过将在冲洗步骤中渗透有冲洗液的清洗液通入从玻璃基板的一端跨至另一端所设置的接触清洗单元，而去除该清洗液。

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置。

背景技术

业界使用平坦的玻璃板作为液晶显示装置或者等离子显示装置等显示器的显示部的零件。在以下的说明中，将这种玻璃板称为显示器用玻璃基板，或者仅称为玻璃基板。例如，在液晶显示装置中，通过改变对被封入到玻璃基板间的液晶所施加的电场，而改变液晶的取向，而能够实现动态图像显示。液晶显示装置在显示图像时需要改变电场，因此在玻璃基板上形成用以施加电压的透明电极。

另外，为了控制对玻璃基板上的电极所施加的电压的接通、断开，需要高品质显示的电视接收机等所使用的液晶显示装置采用了使用薄膜晶体管(TFT)的主动矩阵方式的控制。该TFT也形成在玻璃基板上。具体来说，液晶显示器是以控制光的透过量的TFT(ThinFilm Transistor)与液晶、及滤色片作为构成要素。液晶显示器中的滤色片面板的制造方法通常使用如下方法：在玻璃基板的表面形成黑色的矩阵，接着将红、绿、蓝的不同色相依次按条状或者马赛克状等彩色图案而形成。

随着显示器的高清化，配置在玻璃基板表面的黑色矩阵的线宽及间距减小。例如，为了达成显示器的高对比度化，而需要由黑色矩阵的高细线化、高清化(具体来说，小于20μm的线宽)而实现开口率提高、及由黑色矩阵的高尺寸精度而实现遮光性提高。另外，随着显示器像素数的高密度化，图案尺寸根据滤色片的用途以及各颜色而异，作为一例，红、绿、蓝的像素的一边的尺寸从200～300μm进展为100μm，黑色矩阵的尺寸从20μm进展为10μm、进而5μm，对应于此而开发出细线技术。

这样，由于在显示器用玻璃基板的玻璃面上利用极薄的金属膜或半导体形成电极或主动元件，所以要求玻璃基板的玻璃表面具有极高的平坦性与极高的清洁性。

但是，显示器用玻璃基板如果是例如液晶显示装置所使用的基板(以下，称为液晶用玻璃基板)，则会呈现较薄的长方形板状的形态。液晶用玻璃基板通常厚度为0.05mm～0.7mm的程度，而薄于1mm，业界对尺寸大型化的要求逐年提高。

液晶用玻璃基板是以称为母玻璃的形态供给至液晶显示装置的制造步骤，该母玻璃所以具有的大小相当于一个液晶显示装置所需大小的玻璃基板多片的大小。该母玻璃的大小习惯用“代”来表现，例如第6代母玻璃的大小为1500mm×1850mm。母玻璃是通过将成形为板状的玻璃板切割成特定大小而获得。而且，为了去除切割玻璃板时所产生的污渍或者切割屑等，需要对母玻璃即液晶用玻璃基板进行清洗。

在所述状况下进行的液晶用玻璃基板的玻璃表面的清洗中，使用纯水、表面活性剂等清洁剂及氟化合物等各种液体。玻璃表面的清洗所使用的液体通过喷出气流而去除，在结束清洗步骤后，经过清洁剂去除步骤、检查步骤等后出货，但有已成为制品的液晶玻璃基板的表面固着有清洁剂成分的情况。

清洁剂成分残留，该清洁剂成分的固着导致形成在玻璃基板上的电极或者元件产生不良，而导致液晶显示装置发生故障。另外，在将液晶显示所需的构件形成在液晶用玻璃基板上时也会进行清洗，但即便在这种情况下进行的清洗中，也会产生清洁剂成分固着的问题。另外，有无法实现黑色矩阵树脂对玻璃基板表面的高密接性的担忧。

因此，为了防止发生清洁剂成分固着，例如专利文献1所记载般先前是利用气刀等较薄的平面状喷出气流，从清洗后的液晶用玻璃基板的玻璃表面去除清洗所使用的清洁剂等液体。

[先前技术文献]