[发明专利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造装置

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于：其是表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用玻璃基板的制造方法，并且具备如下步骤：

清洗步骤，对所述玻璃基板供给包含添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗，

冲洗步骤，使冲洗液渗透到在所述清洗步骤中附着在所述玻璃基板表面的清洗液中，及

去除步骤，在所述冲洗步骤前，使所述玻璃基板通入设置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接触所述玻璃基板的第1夹辊，而去除所述清洗步骤中附著在所述玻璃基板表面的所述清洗液，并且，使所述玻璃基板通入设置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接触所述玻璃基板的第2夹辊，而去除在所述冲洗步骤中渗透有所述冲洗液的所述清洗液，

在所述去除步骤中，以来自附着在所述玻璃基板的所述表面活性剂的有机物的附著量成为每1cm2所述玻璃基板的表面为0.05ng～0.50ng的方式，调整所述第1夹辊以及所述第2夹辊压抵在所述玻璃基板上的力。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

关于所述去除步骤，在将所述玻璃基板分别通入所述第1夹辊以及所述第2夹辊前后的步骤中的至少后一步骤中，为了防止所述清洗液干燥而对所述玻璃基板的表面供给液体。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

关于所述去除步骤，

将清洗过所述玻璃基板的所述清洗液回收，并测定所回收的清洗液的浓度，

测得的所述清洗液的浓度越低，越增强将所述第1夹辊压抵在所述表面的力。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

关于所述去除步骤，

测定在利用所述第2夹辊去除所述清洗液前供给到所述玻璃基板且与所述清洗液同时被回收的液体的导电率，

回收的所述液体的导电率越高，越增强将所述第2夹辊压抵在所述表面的力。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：

供给所述冲洗液的喷淋单元是使相对于即将进行所述冲洗步骤前的清洗液的温度而温度差为0℃以上且5℃以下的冲洗液在所述冲洗步骤的初期渗透而去除。

6.一种玻璃基板的制造装置，其特征在于：其是表面形成黑色矩阵树脂的滤色片用玻璃基板的制造装置，并且具备如下装置：

清洗装置，其对所述玻璃基板供给包含添加有表面活性材料的无机碱系清洗剂的清洗液并进行清洗，

冲洗装置，其使冲洗液渗透到附着在所述玻璃基板表面的清洗液中，及

去除装置，其在使所述冲洗液渗透前，使所述玻璃基板通入设置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接触所述玻璃基板的第1夹辊，而去除通过所述清洗装置而附著在所述玻璃基板表面的所述清洗液，并且，使所述玻璃基板通入设置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接触所述玻璃基板的第2夹辊，而去除渗透有所述冲洗液的所述清洗液，

在所述去除装置中，以来自附着在所述玻璃基板的所述表面活性剂的有机物的附著量成为每1cm2所述玻璃基板的表面为0.05ng～0.50ng的方式，调整所述第1夹辊以及所述第2夹辊压抵在所述玻璃基板上的力。