[发明专利]线栅偏振器以及制造线栅偏振器的方法

说明书

技术领域

本申请涉及线栅偏振器(wiregridpolarizer)以及制造线栅偏振器的方 法。

背景技术

其中导线(conductorwire)被彼此平行地布置以使来自电磁波的某些光 偏振的平行导线阵列通常被称为线栅偏振器。

响应于入射的非偏振光，具有比入射光的波长小的周期的线栅偏振器反 射平行于其线的方向的偏振光，并使垂直于其线(wire)的方向的偏振光从 其透射。线栅偏振器比吸收型偏振器更有益，因为其允许被反射的偏振光被 再利用。

发明内容

示例性实施方式提供具有优良的可加工性的线栅偏振器、具有该线栅偏 振器的显示装置以及制造该线栅偏振器的方法。

然而，示例性实施方式不限于这里阐述的那些。通过参照以下给出的详 细描述，对于本申请所属的领域中的普通技术人员而言，以上和其它的示例 性实施方式将变得更加明显。

根据示例性实施方式，提供一种线栅偏振器，该线栅偏振器包括：衬底， 配置为具有设置在该衬底的第一表面上的多个凹进图案；多个导电线图案， 配置为分别设置在衬底的该多个凹进图案中；以及氧化物层，配置为设置在 衬底和导电线图案上。

根据另一示例性实施方式，提供一种线栅偏振器，该线栅偏振器包括： 衬底，被配置为具有设置在该衬底的第一表面上的多个第一凹进图案以及也 设置在该衬底的第一表面上的第二凹进图案，第二凹进图案具有比第一凹进 图案的宽度大的宽度；多个导电线图案，配置为分别设置在衬底的该多个第 一凹进图案中；反射层，配置为设置在衬底的第二凹进图案中；以及氧化物 层，配置为设置在衬底、导电线图案和反射层上。

根据另一示例性实施方式，提供一种制造线栅偏振器的方法，该方法包 括：在衬底的第一表面上形成多个凹进图案；在衬底的第一表面上以及在该 多个凹进图案内形成导电材料层；以及氧化导电材料层的在衬底上的部分以 形成氧化物层以及分别在该多个凹进图案中的多个导电线图案。

根据另一示例性实施方式，提供一种制造线栅偏振器的方法，该方法包 括：在衬底的第一表面上形成多个第一凹进图案以及具有比第一凹进图案的 宽度大的宽度的第二凹进图案；在衬底的第一表面上以及在该多个第一凹进 图案和第二凹进图案内形成导电材料层；以及氧化导电材料层的在衬底上的 部分，以形成氧化物层以及分别在该多个第一凹进图案中的多个导电线图案 和在第二凹进图案中的反射层。

根据示例性实施方式，可以提供具有优良的可加工性的线栅偏振器。

其它的特征和示例性实施方式将从以下的详细描述、附图和权利要求而 变得明显。

附图说明

图1是根据示例性实施方式的线栅偏振器的竖直截面图。

图2是根据另一示例性实施方式的线栅偏振器的竖直截面图。

图3是根据另一示例性实施方式的线栅偏振器的竖直截面图。

图4是根据另一示例性实施方式的线栅偏振器的竖直截面图。

图5是根据另一示例性实施方式的线栅偏振器的竖直截面图。

图6是根据另一示例性实施方式的线栅偏振器的竖直截面图。

图7、8、9、10、11、12和13是示出根据示例性实施方式的制造线栅 偏振器的方法的截面图。

图14、15、16、17和18是示出根据另一示例性实施方式的制造线栅偏 振器的方法的截面图。

图19、20、21、22、23、24和25是示出根据另一示例性实施方式的制 造线栅偏振器的方法的截面图。

图26、27、28、29和30是示出根据另一示例性实施方式的制造线栅偏 振器的方法的截面图。

具体实施方式

本发明构思的方面和特征以及用于实现所述方面和特征的方法将通过 参照关于附图被详细描述的实施方式而明显。然而，本发明构思不限于在下 文中公开的实施方式，但是能够以多种形式被实现。在该描述中限定的事物， 诸如详细的构造和元件，不过是提供用来辅助本领域的普通技术人员对本发 明构思的综合理解，本发明构思仅被限定在权利要求的范围内。在整个描述 中，在不同的图中，相同的附图标记被用于相同的元件。在图中，层和区域 的尺寸和相对尺寸可以被夸大以使说明清晰。