[发明专利]一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法

说明书

技术领域

本发明属于半导体制造领域，更具体地，涉及一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法。

背景技术

在芯片制造过程中，由于蓝膜的变形，导致芯片在角度方向上呈现一定的角度偏差，需对承载芯片的旋转平台进行角度上的旋转，并且依据旋转中心位置信息对芯片的位置信息进行坐标变换，以在制造加工过程中获取芯片的实际位置。现有技术中一般采用目测的方法，通过移动承载芯片的定位平台，在视场中寻找旋转中心，该方法对操作者的要求高，耗时长，而且无法保证旋转中心的精度。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其目的在于通过设计的算法来精确地寻找定位平台的旋转中心，以获得在制作加工过程中芯片的精确位置。

为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于，该标定方法包括如下步骤：

(1)对放置于定位平台的待扫描的芯片进行旋平；以预设步长逆时针旋转所述定位平台，使得所述待扫描的芯片旋转，并对所述芯片进行扫描，获取所述芯片的信息序列^P{(X,Y,xIndex,yIndex)}；继续以预设步长顺时针旋转待扫描的芯片，此次旋转的角度大于前一步逆时针旋转产生的角度，并再次对所述芯片进行扫描，获取芯片的信息序列P'{(X',Y',xIndex,yIndex)}；

(2)对序列P{(X,Y,xIndex,yIndex)}、P'{(X',Y',xIndex,yIndex)}中的坐标进行筛选：根据坐标索引，以原始序列P为参考，去除P'中多出的索引对应的坐标，以原始序列P'为参考，去除P中多出的索引对应的坐标。最后根据索引生成序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}；

(3)随机选择序列N中的两个元素N₁(X₁,Y₁,X'₁,Y'₁,xIndex,yIndex))，N₂(X₂,Y₂,X'₂,Y'₂,xIndex,yIndex))，求得旋转中心O_region(X_region,Y_region)；求解公式为：

进一步地，所述标定方法在所述步骤(3)之后还包括如下步骤：

(4)根据旋转中心O_region，进行芯片信息序列N_s1，N_s2的规划:规划的具体操作为：计算序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}中分量(X,Y)与O_region(X_region,Y_region)点的距离，选择距离圆心O_region最远的点S₁(X_s1,Y_s1)作为区域1的中心，根据预设数量Q选择Q个距离S₁最近的元素，构成N_s1；去除N中与N_s1相交的元素，得到序列N'；设T为X方向索引号相差1的两个芯片的距离的平方，计算获取序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}中满足(X-X_s1)*(Y-Y_s1)<T的元素,选择距离O_region最远的点S₂(X_s2,Y_s2)作为区域2的中心，根据预设数量Q选择Q个距离S₂最近的元素，构成N_s2；