[发明专利]一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法

权利要求书

1.一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于，该标定方法包括如下步骤：

(1)对放置于定位平台的待扫描的芯片进行旋平；以预设步长逆时针旋转所述定位平台，使得所述待扫描的芯片旋转，并对所述芯片进行扫描，获取所述芯片的信息序列P{(X,Y,xIndex,yIndex)}；继续以预设步长顺时针旋转待扫描的芯片，此次旋转的角度大于前一步逆时针旋转产生的角度，并再次对所述芯片进行扫描，获取芯片的信息序列P'{(X',Y',xIndex,yIndex)}，其中，X，Y分别表示芯片的横坐标和纵坐标，xIndex,yIndex分别表示芯片的x方向的索引和y方向的索引，X',Y'分别表示芯片旋转后的横坐标和纵坐标；

(2)对序列P{(X,Y,xIndex,yIndex)}、P'{(X',Y',xIndex,yIndex)}中的坐标进行筛选：根据坐标索引，以原始序列P为参考，去除P'中多出的索引对应的坐标，以原始序列P'为参考，去除P中多出的索引对应的坐标；最后根据索引生成序列N'{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}；

(3)随机选择序列N中的两个元素N₁(X₁,Y₁,X′₁,Y′₁,xIndex,yIndex))，N₂(X₂,Y₂,X′₂,Y′₂,xIndex,yIndex))，求得旋转中心O_region(X_region,Y_region)；求解公式为：

Xregion=(Y2′2-Y22)(Y1′-Y1)-(Y1′2-Y12)(Y2′-Y2)+(X2′2-X22)(Y1′-Y1)-(X1′2-X12)(Y2′-Y2)2((X2′-X2)(Y1′-Y1)-(X1′-X1)(Y2′-Y2))---(I)]]>

Yregion=(X2-X2′)(Xregion-(X2+X2′)2)(Y2′-Y2)+(Y2+Y2′)2---(II);]]>

(4)根据旋转中心O_region，进行芯片信息序列N_s1，N_s2的规划:规划的具体操作为：计算序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}中分量(X,Y)与O_region(X_region,Y_region)点的距离，选择距离圆心O_region最远的点S₁(X_s1,Y_s1)作为区域1的中心，根据预设数量Q选择Q个距离S₁最近的元素，构成N_s1；去除N中与N_s1相交的元素，得到序列N'；设T为X方向索引号相差1的两个芯片的距离的平方，计算获取序列N{(X,Y,X',Y',xIndex,yIndex))}中满足(X-X_s1)*(Y-Y_s1)<T的元素,选择距离O_region最远的点S₂(X_s2,Y_s2)作为区域2的中心，根据预设数量Q选择Q个距离S₂最近的元素，构成N_s2；

(5)由获取的坐标序列N_s1{(X₁,Y₁,X′₁,Y′₁,xIndex,yIndex))}，N_s2{(X₂,Y₂,X′₂,Y′₂,xIndex,yIndex))}，根据所述公式(Ⅰ)(Ⅱ)计算出旋转中心的序列，求解序列的平均值，获取新的旋转中心。

2.一种用于承载芯片的定位平台的旋转中心标定方法，其特征在于，该标定方法包括如下步骤：

(1)对放置于定位平台的芯片进行扫描，将所述定位平台朝一个方向旋转一个预设的角度，继续进行一次扫描，将所述定位平台朝相反的方向旋转一个不同的预设的角度，进行一次扫描，以此方式进行n次扫描,并且对扫描获取的芯片信息数据进行去重处理，即经过去重处理之后n次扫描的芯片信息处理里不包括重复的芯片索引号,其中n＝3或n大于3；

(2)随机选取一个芯片三次扫描的位置信息，利用如下公式进行旋转中心的计算：

若n＝3，则

X=(Y132-Y112)(Y12-Y11)-(Y122-Y112)(Y13-Y11)+(X132-X112)(Y12-Y11)-(X122-X112)(Y13-Y11)2((X13-X11)(Y12-Y11)-(X12-X11)(Y13-Y11))---(III)]]>

Y=(X11-X13)(X-X13+X112)Y13-Y21+Y11+Y132---(IV);]]>

若n＞3,则

X=AB-CD2(B2-ED)]]>

Y=AE-CB2(ED-B2)]]>

其中：

A＝N∑X_1i²Y_1i+N∑Y_1i³-∑(X_1i²+Y_1i²)∑Y_1i

B＝N∑X_1iY_1i-∑X_1i∑Y_1i

C＝N∑X_1iY_1i²+N∑X_1i³-∑(X_1i²+Y_1i²)∑X_1i

D＝N∑Y_1i²-∑Y_1i∑Y_1i

E＝N∑X_1i²-∑X_1i∑X_1i

其中N为扫描次数的数值，i为n次扫描中的第i次扫描；

(3)选取多个芯片重复进行步骤(2)的运算，获取旋转中心的序列，求取计算得到的所述旋转中心序列的X、Y坐标的平均值，以其作为旋转中心。