[发明专利]HCN激光干涉仪功率的自动控制系统

权利要求书

1.HCN激光干涉仪功率的自动控制系统，其特征在于：包括HCN激光器、

检测器、CPU224XP、定位模块EM253、以太网通讯模块CP243-1，所述HCN激光器包括平面腔形式的波导型谐振腔，谐振腔中心轴线一端内设置有可沿谐振腔中心轴线移动的平面反射镜作为反射端，谐振腔反射端外安装有驱动平面反射镜移动的电动平台，谐振腔中心轴线另一端开有输出窗口，输出窗口上安装有石英晶体窗片，输出窗口内还设置有金属镍网，金属镍网与石英晶体窗片之间设置有多道相互平行且平行于金属镍网网面的钨丝，通过钨丝得到线偏振输出激光，所述谐振腔顶部两端分别垂直插接有电极，电极分别与电源连接，谐振腔底部通过管路连通至真空系统，所述检测器检测HCN激光器的出射光，所述CPU224XP与检测器连接以接收检测器输出信号，CPU224XP通过定位模块EM253与电动平台的驱动电路连接，CPU224XP还通过以太网通讯模块CP243-1与上位机通讯连接。

2.根据权利要求1所述的HCN激光干涉仪功率的自动控制系统，其特征在于：所述电极分别为黄铜材料制成，电极内衬有六硼化镧。

3.根据权利要求1所述的HCN激光干涉仪功率的自动控制系统，其特征在于：所述真空系统由真空泵构成，真空泵通过玻璃缓冲瓶与谐振腔内连通。