[发明专利]一种制备铜锌锡硫薄膜的方法在审
申请号: | 201510522190.8 | 申请日: | 2015-08-24 |
公开(公告)号: | CN105185847A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 韩贵;陆金花;王敏;李丹阳 | 申请(专利权)人: | 扬州大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 卢亚丽 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 铜锌锡硫 薄膜 方法 | ||
1.一种制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,制备步骤如下:
(1)基底清洗:将裁剪好的基底分别在皂液、丙酮、乙醇、去离子水中依次超声清洗,清洗完之后在配制好的碱性清洗液中浸泡一定时间,吹干备用;
(2)配制溶液:依次将含有铜、锌、锡、硫的化合物溶解在醇类溶剂里,水浴或磁力搅拌直至溶液澄黄透明;
(3)涂覆:将步骤(2)制备的溶液与基底进行涂覆;
(4)预处理:将涂覆后得到的湿膜在电热板恒温数分钟,在步骤(3)和此步骤间进行几个循环,直至达到理想的膜厚;
(5)退火:将步骤(4)得到的样品在惰性气氛下进行高温退火,得到铜锌锡硫薄膜。
2.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(1)中,基底选自任意一种耐高温而不参与反应的材料。
3.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述超声清洗时间为10~20分钟;碱性清洗液的配比为:浓氨水、双氧水和蒸馏水的体积比1:1:5。
4.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述含有铜、锌的化合物选自氯化铜(锌)、乙酸铜(锌)、硫酸铜(锌)的任意一种,所述含有锡的化合物选自氯化亚锡、硫酸亚锡、氯化锡的任意一种,所述含有硫的化合物为硫脲、硫代乙酰胺的任意一种或者是任意混合;所述醇类溶剂是2-甲氧基乙醇、甲醇、乙醇、乙二醇、丙三醇、异丙醇的任意一种或者是任意混合。
5.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,以摩尔浓度计,所述含有铜、锌和锡源之和与硫源的浓度比为1:1~1:4。
6.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,采用水浴的温度为60~110℃。
7.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(3)中,所述涂覆方法是旋涂、浸渍、提拉或者卷对卷工艺制程。
8.如权利要求7所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,当涂覆方法采用卷对卷工艺,基底采用柔性的耐高温而不参与反应的材料,柔性的耐高温而不参与反应的材料选自聚酰亚胺树脂,镀钼聚酰亚胺树脂卷、钼薄片卷、不锈钢薄片卷或镀钼不锈钢卷的任意一种。
9.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(4)中,涂覆后得到的湿膜在电热板上加热温度为100~150℃,恒温3~8分钟,在涂覆与此步骤间重复3~8次。
10.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(5)中,铜锌锡硫预制层放入石英舟中,将石英舟推入管式炉的中心处,用流量为10~20标准毫升/分钟的惰性气体作为保护气,以1℃/min的速度梯度将预制膜加热至250℃,先预热处理20~30分钟;再以10℃/min的速度梯度将预制膜加热至400~500℃,并在400~500℃维持1小时,待炉温冷却至室温,取出得到黑色铜锌锡硫薄膜成品;其中,惰性气体为氮气或氩气。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州大学,未经扬州大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510522190.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:双玻光伏组件
- 下一篇:鳍式场效晶体管与其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的