[发明专利]一种制备铜锌锡硫薄膜的方法在审

专利信息
申请号: 201510522190.8 申请日: 2015-08-24
公开(公告)号: CN105185847A 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 韩贵;陆金花;王敏;李丹阳 申请(专利权)人: 扬州大学
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 卢亚丽
地址: 225009 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 铜锌锡硫 薄膜 方法
【权利要求书】:

1.一种制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,制备步骤如下:

(1)基底清洗:将裁剪好的基底分别在皂液、丙酮、乙醇、去离子水中依次超声清洗,清洗完之后在配制好的碱性清洗液中浸泡一定时间,吹干备用;

(2)配制溶液:依次将含有铜、锌、锡、硫的化合物溶解在醇类溶剂里,水浴或磁力搅拌直至溶液澄黄透明;

(3)涂覆:将步骤(2)制备的溶液与基底进行涂覆;

(4)预处理:将涂覆后得到的湿膜在电热板恒温数分钟,在步骤(3)和此步骤间进行几个循环,直至达到理想的膜厚;

(5)退火:将步骤(4)得到的样品在惰性气氛下进行高温退火,得到铜锌锡硫薄膜。

2.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(1)中,基底选自任意一种耐高温而不参与反应的材料。

3.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述超声清洗时间为10~20分钟;碱性清洗液的配比为:浓氨水、双氧水和蒸馏水的体积比1:1:5。

4.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述含有铜、锌的化合物选自氯化铜(锌)、乙酸铜(锌)、硫酸铜(锌)的任意一种,所述含有锡的化合物选自氯化亚锡、硫酸亚锡、氯化锡的任意一种,所述含有硫的化合物为硫脲、硫代乙酰胺的任意一种或者是任意混合;所述醇类溶剂是2-甲氧基乙醇、甲醇、乙醇、乙二醇、丙三醇、异丙醇的任意一种或者是任意混合。

5.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,以摩尔浓度计,所述含有铜、锌和锡源之和与硫源的浓度比为1:1~1:4。

6.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(2)中,采用水浴的温度为60~110℃。

7.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(3)中,所述涂覆方法是旋涂、浸渍、提拉或者卷对卷工艺制程。

8.如权利要求7所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,当涂覆方法采用卷对卷工艺,基底采用柔性的耐高温而不参与反应的材料,柔性的耐高温而不参与反应的材料选自聚酰亚胺树脂,镀钼聚酰亚胺树脂卷、钼薄片卷、不锈钢薄片卷或镀钼不锈钢卷的任意一种。

9.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(4)中,涂覆后得到的湿膜在电热板上加热温度为100~150℃,恒温3~8分钟,在涂覆与此步骤间重复3~8次。

10.如权利要求1所述的制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(5)中,铜锌锡硫预制层放入石英舟中,将石英舟推入管式炉的中心处,用流量为10~20标准毫升/分钟的惰性气体作为保护气,以1℃/min的速度梯度将预制膜加热至250℃,先预热处理20~30分钟;再以10℃/min的速度梯度将预制膜加热至400~500℃,并在400~500℃维持1小时,待炉温冷却至室温,取出得到黑色铜锌锡硫薄膜成品;其中,惰性气体为氮气或氩气。

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