[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造方法

说明书

使用端部加热燃烧器在防止玻璃微粒沉积体的表面的粒子状突起生成的同时，防止玻璃微粒沉积体的起自端部的裂纹。设置利用氢氧气体火焰加热玻璃微粒沉积体(5)的端部的辅助燃烧器(7a)，使玻璃微粒沉积体(5)相对于辅助燃烧器(7)和原料燃烧器(4a)～(4g)相对往复移动，在利用辅助燃烧器(7a)加热玻璃微粒沉积体(5)的端部时的加热范围中，设置将辅助燃烧器(7a)的氢气流量设为第1流量来加热的、与分界位置相比位于端部侧的区域(11)和将氢气流量设为比第1流量小的第2流量加热的、与分界位置相比位于中心部侧的区域(10)。

技术领域

本发明涉及玻璃微粒沉积体的制造方法。

背景技术

日本特开2008-94680号公报和日本特开平11-189428号公报记载了这样一种方法：在外部气相沉积法(OVD法)或多燃烧器多层沉积法(MMD法)中，为了防止玻璃微粒沉积体的起自端部的裂纹，在用辅助燃烧器(補助バーナ)加热端部的同时制造玻璃微粒沉积体。

发明内容

发明要解决的问题

本发明提供这样一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其可以在防止玻璃微粒沉积体表面的粒子状突起生成的同时，防止玻璃微粒沉积体起自端部的裂纹。

用于解决问题的手段

为了实现目的，提供一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使靶棒(ターゲットロッド)相对于由生成玻璃微粒的原料燃烧器(原料バーナ)和不生成玻璃微粒的辅助燃烧器构成的燃烧器列往复移动，使在原料燃烧器处生成的玻璃微粒沉积在靶棒上从而形成玻璃微粒沉积体，并利用由辅助燃烧器喷出的氢氧气体火焰加热玻璃微粒沉积体的端部。在该方法中，辅助燃烧器加热玻璃微粒沉积体的端部的范围包括夹着分界位置的端部侧的第1区域和中心部侧的第2区域，在第1区域中，将辅助燃烧器的氢气流量设为第1流量来加热玻璃微粒沉积体，在第2区域中，将辅助燃烧器的氢气流量设为比第1流量小的第2流量来加热玻璃微粒沉积体。

在本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法中，第2流量可以为第1流量的0.4倍以下。另外，分界位置可以是原料燃烧器的火焰接触玻璃微粒沉积体的往复移动次数等于辅助燃烧器的火焰接触玻璃微粒沉积体的往复移动次数的位置附近。此处的“附近”是指(例如)±5cm左右的范围。此外，分界位置可以随着玻璃微粒的沉积而缓慢移动到端部侧。此处，“缓慢”是指例如每小时1～10mm左右的速度。

发明的效果

根据本发明，可以在防止玻璃微粒沉积体表面的粒子状突起生成的同时，防止玻璃微粒沉积体的起自端部的裂纹。

附图简要说明

图1是示出了在根据本发明实施方案的玻璃微粒沉积体的制造方法中使用的制造装置的一个例子的示意图。

图2是说明在玻璃微粒沉积体的表面上生成的粒子状突起的示意图。

图3是说明玻璃微粒沉积体的起自端部的裂纹的产生的示意图。

图4是说明根据本发明实施方案的玻璃微粒沉积体的制造方法中的辅助燃烧器的氢气流量的控制的示意图。

图5是说明在玻璃微粒沉积体的制造方法中，原料燃烧器和辅助燃烧器的火焰接触玻璃微粒沉积体的轴向位置的次数的示意图。

图6是示出通过传统制造方法制造的玻璃微粒沉积体中的粒子状突起和裂纹的发生率的曲线图。

具体实施方式

下面，参照附图来说明根据本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法的实施方案。需要说明的是，本发明不限于这些示例，而是由权利要求的范围表示，并且旨在包括与权利要求的范围相等的意义和范围内的所有变更。