[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，其中，使靶棒相对于由生成玻璃微粒的原料燃烧器和不生成玻璃微粒的辅助燃烧器构成的燃烧器列相对往复移动，

使在所述原料燃烧器处生成的玻璃微粒沉积在所述靶棒上从而成为玻璃微粒沉积体，并且

通过由所述辅助燃烧器喷出的氢氧气体火焰加热所述玻璃微粒沉积体的端部，其中，

所述辅助燃烧器加热所述玻璃微粒沉积体的所述端部的范围包括夹着分界位置的端部侧的第1区域和中心部侧的第2区域，在所述第1区域中，将所述辅助燃烧器的氢气流量设为第1流量来加热所述玻璃微粒沉积体，在所述第2区域中，将所述辅助燃烧器的氢气流量设为比所述第1流量小的第2流量来加热所述玻璃微粒沉积体，

其中所述分界位置为所述原料燃烧器的火焰接触所述玻璃微粒沉积体的往复移动次数与所述辅助燃烧器的火焰接触所述玻璃微粒沉积体的往复移动次数相等的位置附近，此处的“附近”是指±5cm的范围。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中所述第2流量为所述第1流量的0.4倍以下。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其中使所述分界位置随着玻璃微粒的沉积而向端部侧移动。