[发明专利]一种用扫描电镜观察硬质合金组织的系统与方法

权利要求书

1.一种用扫描电镜观察硬质合金组织的方法，其特征在于，该方法包括：对硬质合金试样进行镶嵌和抛光；将抛光后的试样放入腐蚀液中，对试样进行腐蚀；完成制样后，通过扫描电镜观察硬质合金组织的显微结构。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，腐蚀溶液包含WC相腐蚀溶液和Co相腐蚀溶液。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，WC相腐蚀溶液包含氢氧化钾或者氢氧化钠和铁氰化钾水溶液相等体积混合液；各水溶液的浓度在16-19％之间，优选17.5％；各水溶液的浓度与试样的腐蚀时间相关。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，Co相腐蚀溶液包含三氯化铁盐酸饱和溶液。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对于不含添加剂的合金，先将制成镜面的试样放入WC腐蚀溶液中，浸泡3min10s，完成WC相腐蚀，再将试样放入Co相腐蚀液中，腐蚀30s(所有的时间波动允许在2秒的范围，但是如果大范围波动，则需要配合腐蚀液的配方)。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对于有添加剂的合金，将制成镜面的试样先腐蚀Co相20s，再腐蚀WC相3min10s，再腐蚀Co相10s。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，完成制样还包括：对经过腐蚀的试样用纯净水冲洗，再置于无水乙醇中，进行超声清洗并吹干。

8.一种用扫描电镜观察硬质合金组织的系统，其特征在于，该系统包括：试样准备装置，其具有硬质合金试样的镶嵌装置和抛光装置；试样处理装置，其设置在试样准备装置的下游，具有腐蚀液容器；制样形成装置，其设置在试样处理装置的下游，具有对经过腐蚀的试样用纯净水冲洗的装置、无水乙醇容器、超声清洗装置和吹干装置；以及用于观察硬质合金组织的显微结构的扫描电镜。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，腐蚀液容器包括容纳有17.5％氢氧化钾水溶液和17.5％铁氰化钾水溶液相等体积混合液的WC相腐蚀溶液容器和容纳三氯化铁盐酸饱和溶液的Co相腐蚀溶液容器。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，具有将制成镜面的试样在WC腐蚀溶液中浸泡3min10s的时间控制器，以及在Co相腐蚀液中浸泡10s、20s、30s的时间控制器。