[发明专利]光学临近修正中的卷积加速方法

权利要求书

1.一种光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于包括：

模型采样步骤：对模型进行采样，在采样到的格点处计算卷积，而且保持卷积值；

版图扫描步骤：执行版图扫描，并建立顶点坐标索引；

仿真点信息获取步骤：利用顶点坐标索引获取仿真点信息；

仿真点信息获取步骤包括：根据工艺模型中的光学影响距离从顶点坐标索引中获得仿真点的所有临近顶点；在顶点坐标索引中加入由于边界分割引入的新的顶点；对所有顶点做矩阵变换，换算与仿真点的相对距离；

插值计算步骤：利用仿真点信息获取步骤获取的仿真点信息以及模型采样步骤保持的卷积值，执行仿真点卷积值的插值计算。

2.根据权利要求1所述的光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于，在模型采样步骤中，对于每个卷积核都执行采样。

3.根据权利要求1或2所述的光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于，在模型采样步骤中，模型采样步骤中的采样的最大半径为光学衍射影响范围。

4.根据权利要求1或2所述的光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于，在模型采样步骤中采样90度、45度、135度三个平面以便于版图分解。

5.根据权利要求1或2所述的光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于，在模型采样步骤中，根据版图精度确定采样间距。

6.根据权利要求1或2所述的光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于，在版图扫描步骤中，首先将顶点分类为属于90度、45度或135度的顶点、以及非90度、45度或135度的顶点，并且对非90度、45度或135度的顶点做锯齿化近似。

7.根据权利要求1或2所述的光学临近修正中的卷积加速方法，其特征在于，插值计算步骤包括：转换相对坐标以获取与仿真点相对应的对照点；利用对照点最相邻的预定个数的采样格点做对照点插值；计算所用顶点采样值的代数和。