[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，在纵型的反应容器内配置有将多个基板保持为架状的基板保持件的状态下，将原料气体以及与该原料气体进行反应来生成反应生成物的反应气体交替地供给到上述反应容器内来在基板上成膜，该成膜装置具备：

第一原料气体供给部、第二原料气体供给部，该第一原料气体供给部、第二原料气体供给部分别限定性地向沿着上述基板保持件中的基板的排列方向的第一基板保持区域和第二基板保持区域供给上述原料气体；

反应气体供给部，其向上述第一基板保持区域和第二基板保持区域供给反应气体；

吹扫气体供给部，其在上述第一基板保持区域和第二基板保持区域中的某一方被供给上述原料气体时，向上述第一基板保持区域和第二基板保持区域中的另一方供给用于防止被供给上述原料气体的吹扫气体；

划分用基板，其在上述基板保持件中被保持在上述第一基板保持区域与上述第二基板保持区域之间，将上述基板保持件划分为第一基板保持区域和第二基板保持区域；以及

控制部，其输出控制信号，使得将第一循环和第二循环分别进行多次，该第一循环包括向第一基板保持区域的原料气体的供给和反应气体的供给，该第二循环包括向第二基板保持区域的原料气体的供给和反应气体的供给，

其中，上述控制部输出控制信号，使得将上述第一循环和上述第二循环进行互不相同的次数，

其中，从上述第一原料气体供给部和上述第二原料气体供给部供给的原料气体的种类互不相同，

其中，所述第一基板保持区域和所述第二基板保持区域共用所述反应气体供给部，

其中，第一期间与第二期间相互重叠，并且上述第二期间比上述第一期间长，其中，该第一期间是进行包括向上述第一基板保持区域的原料气体的供给和反应气体的供给的第一循环中的上述原料气体的供给的期间，该第二期间是进行包括向上述第二基板保持区域的原料气体的供给和反应气体的供给的第二循环中的上述原料气体的供给的期间，

上述控制部输出控制信号，使得在包含于上述第二期间并且处于上述第一期间以外的期间内向上述第一基板保持区域供给上述吹扫气体。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

当设一个过程所需的第二循环的第二重复次数比一个过程所需的第一循环的第一重复次数多时，上述控制部输出控制信号，使得执行将第一循环仅进行第一重复次数的步骤以及在该步骤之前或之后将第二循环仅进行第二重复次数的步骤。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

当设一个过程所需的第二循环的第二重复次数比一个过程所需的第一循环的第一重复次数多时，上述控制部输出控制信号，使得执行将第一循环和第二循环同时仅进行第一重复次数的步骤以及将第二循环仅进行从第二重复次数减去第一重复次数所得的次数的步骤。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

当设一个过程所需的第二循环的第二重复次数比一个过程所需的第一循环的第一重复次数多时，上述控制部输出控制信号，使得执行将循环的组重复多次的步骤，其中，该循环的组包括进行第一循环、在该第一循环之前或之后进行第二循环这一系列工序，

用上述第一重复次数和上述第二重复次数除以将上述循环的组重复的次数来决定各循环的组中的第一循环的重复次数和第二循环的重复次数，各循环的组中的第二循环的次数比第一循环的次数多。

5.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

当设一个过程所需的第二循环的第二重复次数比一个过程所需的第一循环的第一重复次数多时，上述控制部输出控制信号，使得执行将循环的组重复多次的步骤，其中，该循环的组包括进行第一循环和第二循环、在执行该循环之前或之后不进行第一循环而进行第二循环这一系列工序，

用上述第一重复次数和上述第二重复次数除以将上述循环的组重复的次数来决定各循环的组中的第一循环的重复次数和第二循环的重复次数。