[发明专利]一种通用型光学元件抛光用真空夹具

说明书

技术领域

本发明属于光学冷加工技术领域，具体涉及一种通用型光学元件抛光用真空夹具。

背景技术

当抛光例如投影光刻物镜等高精度光学仪器中使用的诸如透镜之类的光学元件时，需要对光学元件进行装夹。参见附图1，光学元件的装夹目前采用真空夹具进行吸附，所述真空夹具由夹具体2、法兰轴4、螺钉5、密封圈6和保护层7五部分组成，该真空夹具结构较为复杂，并且针对不同尺寸和形状的光学元件，需要制作与之对应的夹具体2和密封圈6，往往一个两面曲率半径不同的光学元件就需要制作两个夹具体2，通用性差，增加了夹具的加工时间和加工成本。

发明内容

本发明的目的在于提出一种通用型光学元件抛光用真空夹具，解决现有技术存在的结构复杂、通用性差和加工成本高的问题。

为实现上述目的，本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具包括真空夹具体和密封保护层；

所述真空夹具体为一体式结构，所述真空夹具体包括一个通过支撑臂形成的中空结构，所述支撑臂上端与待抛光光学元件接触，支撑臂上端与待抛光光学元件接触处通过密封保护层密封，所述中空结构与外部通过抽气孔连通。

所述真空夹具体下端设置有连接轴，所述抽气孔与所述连接轴同轴。

所述支撑臂与所述光学元件接触轨迹为圆形。

所述支撑臂上端为圆弧结构，所述密封保护层为U型结构，U型结构的密封保护层与所述支撑臂上端的圆弧结构粘结。

所述密封保护层采用橡胶材料制成。

所述真空夹具体采用不锈钢材料制成。

本发明的有益效果为：本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具包括一个通过支撑臂形成的中空结构，支撑臂上端与待抛光光学元件接触，接触处通过密封保护层进行密封，使中空结构形成密闭结构，该真空夹具通过连接轴安装到抛光机床的工件轴孔中，并通过抽气孔对上述中空结构进行抽真空，实现对光学元件的真空夹持，该夹具在抛光诸如透镜之类的光学元件时进行光学元件的真空夹持，本发明的真空夹具通过支撑臂上端与光学元件接触，可以适用于不同尺寸和形状的平面、球面和非球面光学元件的夹持，该夹具结构简单，通用性强。

附图说明

图1为现有技术中真空夹具结构示意图；

图2为本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具整体结构示意图；

图3为本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具夹持平面光学元件的示意图；

图4为本发明一种通用型光学元件抛光用真空夹具夹持凸面光学元件的示意图；

其中：1、光学元件，2、真空夹具体，201、连接轴，202、抽气孔，203、支撑臂，3、密封保护层，4、法兰轴，5、螺钉，6、密封圈，7、保护层。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。

参见附图2，本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具包括真空夹具体2和密封保护层3；

所述真空夹具体2为一体式结构，所述真空夹具体2包括一个通过支撑臂203形成的中空结构，所述支撑臂203上端与待抛光光学元件1接触，支撑臂203上端与待抛光光学元件1接触处通过密封保护层3密封，所述中空结构与外部通过抽气孔202连通。

所述真空夹具体2下端设置有连接轴201，所述抽气孔202与所述连接轴201同轴。

所述支撑臂203与所述光学元件1接触轨迹为圆形。

所述支撑臂203上端为圆弧结构，所述密封保护层3为U型结构，U型结构的密封保护层3与所述支撑臂203上端的圆弧结构粘结，支撑待抛光光学元件1的接触面。

所述密封保护层3采用橡胶材料制成。

所述真空夹具体2采用不锈钢材料制成。

参见附图3和附图4，本发明的真空夹具可以适用于不同尺寸和形状的平面、球面和非球面光学元件1的夹持。

本发明的具体使用方法为：首先将该夹具连接轴201安装到抛光机床的工件轴孔中，接着将光学元件1放置于所述的密封保护层3上，开启真空系统，压力值设为1～3bar，吸附光学元件1的接触面，然后通过打表将光学元件1定心，增大真空压力值到6～8bar将光学元件1吸牢。