[发明专利]一种通用型光学元件抛光用真空夹具在审

专利信息
申请号: 201510450081.X 申请日: 2015-07-28
公开(公告)号: CN105150050A 公开(公告)日: 2015-12-16
发明(设计)人: 马占龙;王飞;彭利荣;隋永新;杨怀江 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: B24B13/005 分类号: B24B13/005
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 通用型 光学 元件 抛光 真空 夹具
【权利要求书】:

1.一种通用型光学元件抛光用真空夹具,包括真空夹具体(2)和密封保护层(3),其特征在于,所述真空夹具体(2)为一体式结构,所述真空夹具体(2)包括一个通过支撑臂(203)形成的中空结构,所述支撑臂(203)上端与待抛光光学元件(1)接触,支撑臂(203)上端与待抛光光学元件(1)接触处通过密封保护层(3)密封,所述中空结构与外部通过抽气孔(202)连通。

2.根据权利要求1所述的一种通用型光学元件抛光用真空夹具,其特征在于,所述真空夹具体(2)下端设置有连接轴(201),所述抽气孔(202)与所述连接轴(201)同轴。

3.根据权利要求1或2所述的一种通用型光学元件抛光用真空夹具,其特征在于,所述支撑臂(203)与所述光学元件(1)接触轨迹为圆形。

4.根据权利要求1所述的一种通用型光学元件抛光用真空夹具,其特征在于,所述支撑臂(203)上端为圆弧结构,所述密封保护层(3)为U型结构,U型结构的密封保护层(3)与所述支撑臂(203)上端的圆弧结构粘结。

5.根据权利要求1、2或4所述的一种通用型光学元件抛光用真空夹具,其特征在于,所述密封保护层(3)采用橡胶材料制成。

6.根据权利要求1所述的一种通用型光学元件抛光用真空夹具,其特征在于,所述真空夹具体(2)采用不锈钢材料制成。

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