[发明专利]振动片、振子、振动器件、振荡器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振动片，所述振动片包括石英基板，所述石英基板将由X轴、Y轴、Z轴构成的直角坐标系中的所述X轴作为旋转轴，将使所述Z轴以+Z侧向所述Y轴的-Y方向旋转的方式倾斜后的轴作为Z’轴，将使所述Y轴以+Y侧向所述Z轴的+Z方向旋转的方式倾斜后的轴作为Y’轴，将包含所述X轴和所述Z’轴的平面作为主面，并以沿所述Y’轴的方向为厚度，这里，所述X轴是作为石英的晶轴的电气轴，所述Y轴是作为石英的晶轴的机械轴，所述Z轴是作为石英的晶轴的光学轴，

所述石英基板包括：

振动部，其包括沿所述X轴的边和沿所述Z’轴的边；以及

周边部，其厚度比所述振动部的厚度薄，并沿所述振动部的外缘设置，

所述振动部包括：

第1部分；以及

第2部分，其厚度比所述第1部分的厚度薄，设置于所述第1部分的外缘中的至少所述X轴的+X侧的外缘和-X侧的外缘，

当设所述石英基板的沿所述Z’轴的长度为Z，设所述第1部分的厚度为t时，

满足11＜Z/t≤53的关系，

所述振动部包括凸部，该凸部由比所述第1部分以及所述第2部分的所述周边部向所述Y’轴的+Y’方向突出的部分构成，

所述凸部包括：一个侧面，其包含与所述Z’轴交叉且相对于包含所述X轴和所述Z’轴的面倾斜的面；以及另一个侧面，其包含与所述Z’轴交叉且与包含所述X轴和所述Z’轴的面垂直的面；以及平坦部分，其被所述一个侧面和所述另一个侧面夹着，

当设俯视观察时的、所述一个侧面的沿所述Z’轴的长度为Sz，所述平坦部分的沿所述Z’轴的长度为Mz时，

满足0≤Sz/Mz≤0.05的关系。

2.根据权利要求1所述的振动片，其中，

满足13≤Z/t≤34的关系。

3.根据权利要求1所述的振动片，其中，

满足0.45mm＜Mz≤0.8mm的关系。

4.根据权利要求2所述的振动片，其中，

满足0.45mm＜Mz≤0.8mm的关系。

5.根据权利要求3所述的振动片，其中，

满足0.49mm＜Mz＜0.8mm的关系。

6.根据权利要求1所述的振动片，其中，

满足40μm≤(Z-Mz)/2≤400μm的关系。

7.根据权利要求2所述的振动片，其中，

满足40μm≤(Z-Mz)/2≤400μm的关系。

8.根据权利要求3所述的振动片，其中，

满足40μm≤(Z-Mz)/2≤400μm的关系。

9.根据权利要求1所述的振动片，其中，

在所述石英基板的彼此处于正背关系的第1主面和第2主面上包含激励电极，该激励电极被设置成在俯视观察时重叠，

在俯视观察时，所述振动部设置于所述激励电极的外缘的内侧。

10.一种振子，其中，

所述振子具备：

权利要求1所述的振动片；以及

封装，其收纳有所述振动片。

11.一种振动器件，其中，

所述振动器件具备：

权利要求1所述的振动片；以及

电子元件。

12.根据权利要求11所述的振动器件，其中，

所述电子元件是感温元件。

13.一种振荡器，其中，

所述振荡器具备：

权利要求1所述的振动片；以及

振荡电路，其与所述振动片电连接。

14.一种电子设备，其中，

所述电子设备具备权利要求1所述的振动片。

15.一种移动体，其中，

所述移动体具备权利要求1所述的振动片。