[发明专利]图案缺陷检查方法

说明书

本发明涉及一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法利用对主板通过光学系统多次拍摄后进行结合而成的主图像，能够容易地检查基板上形成的缺陷，其中包括：准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统，以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷。

技术领域

本发明涉及一种图案缺陷检查方法，更为详细地涉及一种能够在大面积的基板上形成的图案中容易地检查缺陷的存在与否及缺陷位置的图案缺陷检查方法。

背景技术

设备用基板的表面有时会有将单位图案周期性地排列以形成重复图案的情况。此类的单位图案本来是有规则地排列的，但是有规则地排列的图案有时会包括无意中产生的具有另一规则性的缺陷(defect)。

当产生此类缺陷时，此类缺陷在后续工艺中会被转印到设备用基板上形成的图案上，从而最终会产生设备用基板不良的问题，因此有必要事先检查重复图案是否产生有缺陷。

通过检查每个图案的形状的方法来检查此类缺陷，在时间和成本的角度来看几乎不可能。因此通过在整个区域上具有周期性的其他图案中检查没有周期性的部分，并且将没有周期性的部分确定为缺陷的方式来进行检查。

另外，最近的设备用基板具有大面积化的倾向，而在这种大面积化的基板表面上排列的整个图案区域中，难以执行对是否存在缺陷的精密的检查。因此对整个图案区域拍摄低倍率图像并确认推定为缺陷的图案，即没有周期性的图案的大概位置，并通过高倍率的光学系统，对包括该没有周期性的图案的区域进行图像拍摄，并进行没有周期性的图案是否为缺陷的分析过程，从而判断缺陷的产生与否。

即，对整个基板的图案形状进行低倍率拍摄，并且确认是否存在没有周期性的图案后，当存在没有周期性的图案时，对该没有周期性的图案通过高倍率的光学系统进行放大拍摄，从而判断该没有周期性的图案是否为缺陷。

然而，在所述方法中，在通过高倍率光学系统拍摄的部分中有时会产生只拍摄到有周期性图案的一部分的情况，从而会产生将其认为没有周期性的图案的问题。而且，在通过高倍率光学系统拍摄的部分的图案中无法确认周期性，从而会产生无法确认通过高倍率光学系统拍摄的部分在基板中相当于哪一部分的问题。

当产生此类问题时，尝试了通过高倍率光学系统重新拍摄先前所拍摄部分的周围区域后进行结合，从而消除所述的问题，但是进一步产生在缺陷的分析过程中所需的时间显著增加的问题。

发明内容

因此，本发明是为了解决所述的以往的问题而提出的，其目的是提供一种图案缺陷检查方法，该图案缺陷检查方法通过对检查图像和已登记的主图像推定进行匹配，从而能够容易地检查基板上形成的缺陷。其中，所述主图像为通过用于检查基板的光学系统来登记的，所述检查图像为通过光学系统对检查对象基板中推定为存在缺陷的区域进行拍摄而形成的图像。

所述目的通过本发明的图案缺陷检查方法来实现，该图案缺陷检查方法的特征在于，包括：准备步骤，准备不存在缺陷的主板；登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，登记为主图像；拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷(defect)的检查区域，通过所述光学系统以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷(defect)。

在此，优选所述登记步骤及所述拍摄步骤分别进行多次，所述登记步骤在所述拍摄步骤之前至少进行一次。

此外，优选所述匹配步骤通过将所述主图像上的与所述检查图像对应的区域取代为所述检查图像，从而检索所述缺陷。