[发明专利]图案缺陷检查方法

权利要求书

1.一种图案缺陷检查方法，其特征在于，包括：

准备步骤，准备不存在缺陷的主板；

登记步骤，利用光学系统，对所述主板的彼此不同的区域进行多次拍摄并进行结合后，将所述主板之结合的整体图像登记为主图像；

拍摄步骤，对在检查对象基板中推定为存在缺陷的检查区域，通过所述光学系统以与所述主图像相同的倍率进行拍摄后，登记为检查图像；及

匹配步骤，对所述主图像与所述检查图像进行匹配后，检索所述检查区域内的缺陷，且所述匹配步骤通过将所登记的所述主图像上与所述检查图像对应的区域取代为所述检查图像，并使所取代的图像与所述主图像匹配从而检索所述缺陷。

2.根据权利要求1所述的图案缺陷检查方法，其特征在于，

所述登记步骤及所述拍摄步骤分别进行多次，

所述登记步骤在所述拍摄步骤之前至少进行一次。

3.根据权利要求1所述的图案缺陷检查方法，其特征在于，

所述光学系统具有可转换的多个倍率，

所述登记步骤在所述光学系统的各个倍率下，登记所述主图像。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的图案缺陷检查方法，其特征在于，

在所述匹配步骤之后，进一步包括确定步骤，利用在所述主图像上的所述检查图像的位置及所述检查图像上的所述缺陷的位置中的至少一个来确定所述缺陷的位置。

5.根据权利要求4所述的图案缺陷检查方法，其特征在于，

所述确定步骤将所述主图像上的所述缺陷的位置设定为第一坐标值，指定所述主图像上的所述检查图像的位置并将其设定为第二坐标值，通过所述第一坐标值及所述第二坐标值之间的变位，确定在所述检查图像上的所述缺陷的位置。

6.根据权利要求4所述的图案缺陷检查方法，其特征在于，

进一步包括缺陷处理步骤，当通过确定步骤检索到所述缺陷的位置时，在所述检查对象基板上处理所述缺陷。