[发明专利]反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法

权利要求书

1.一种反应精馏处理硅烷尾气的装置；其特征是装置为精馏塔；精馏塔设置有精馏段、反应段和提馏段；在精馏段上设置有塔顶冷凝器，塔釜设置有再沸器，精馏段和提馏段中设置有规整填料，反应段中设置有结构催化剂，塔顶设置有尾气出口；在精馏段和反应段之间设置有氯硅烷入口，在反应段和提馏段之间设置有硅烷尾气入口；塔釜与精馏段和反应段之间某处安装循环泵，他们之间通过管道连接；塔釜上设置有三氯硅烷采出口。

2.如权利要求1所述的装置，其特征是精馏段和提馏段塔板数分别在10～200。

3.如权利要求1所述的装置，其特征是所述的结构催化剂是将催化剂填于耐腐蚀工业布袋中，与波纹填料间隔成卷状。

4.利用权利要求1装置进行反应精馏处理硅烷尾气的方法；其特征是：将氯硅烷从氯硅烷入口中加入到反应精馏塔中，硅烷尾气从硅烷尾气入口中加入到反应精馏塔，硅烷尾气和氯硅烷在反应段发生反应，其中氯硅烷是四氯化硅、三氯氢硅、二氯氢硅中两种或三种混合物，氯硅烷和部分不与氯硅烷反应的尾气在精馏段分离，氯硅烷在塔顶冷凝器冷凝，残留尾气从尾气出口采出，氯硅烷和部分硅烷尾气在提馏段分离，氯硅烷回流至塔釜，循环泵将大部分氯硅烷循环至反应段上段，部分氯硅烷并从塔釜采出口采出。

5.如权利要求4所述的方法，其特征是催化剂是活性氧化铝、氯化铝、溴化铝、胺基碱性树脂或者它们的复配物。

6.如权利要求5所述的装置，其特征是催化剂胺基碱性树脂为D66、A21、A100或D301R。

7.如权利要求4所述的方法，其特征是反应段温度为0～200℃，全塔压力为0～10MPa。

8.如权利要求4所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅与三氯氢硅摩尔比0.1～1000：1。

9.如权利要求4所述的方法，其特征是氯硅烷中四氯化硅、三氯氢硅和二氯氢硅摩尔比(1～10000)：100：(10000～1)。