[发明专利]集成有传感器的显示面板及其制作方法和显示装置

说明书

技术领域

本发明的实施例一般地涉及显示技术领域，并且具体地，涉及一种集成有传感器的显示面板及其制作方法、和包括该显示面板的显示装置。

背景技术

随着信息技术的发展，诸如智能手机之类的移动终端已经广泛地应用于人们的日常生活中。目前，在移动终端上通常安装有多种应用程序，以满足人们的多种生活需求。例如，在移动终端中设置加速度传感器，其可以用于计步、显示器件的屏幕的旋转方向切换等应用，还可以用于监测用于摄像头摄像时产生的振动等功能；在移动终端中设置声波传感器，以实现用于语音功能的麦克风或用于监测环境噪声；或者，在移动终端中设置压力传感器，用于环境气压或高度的监测等应用。

但是，现有的传感器都是采用MEMS工艺制作的，然后组装到移动终端的主板上，集成度低。

发明内容

为了克服现有技术存在的上述和其它问题和缺陷中的至少一种，提出了本发明。

根据本发明的一个方面，提出了一种显示面板，包括：第一基板；与第一基板相对设置的第二基板；和通过半导体工艺集成在第一基板和第二基板之间的传感器。

在一个实施例中，所集成的传感器可以是用于感测所述显示面板的加速度的加速度传感器，该加速度传感器可以包括：形成在第一基板上的第一电极；形成在第二基板上的第二电极；位于第一和第二基板之间的围墙，该围墙与第一和第二电极一起限定一密闭腔；质量块，设置在该密闭腔内以将该密闭腔分隔成彼此隔离的第一腔和第二腔，并能够沿着围墙在第一和第二基板之间移动以改变第一腔和第二腔的容积；和第一流体和第二流体，分别填充第一腔和第二腔以允许质量块在密闭腔内自由移动。

在一个实施例中，上述显示面板可以是LCD显示面板并包括形成在第一基板上的像素电极和形成在第二基板上的公共电极，第一电极和像素电极由同一导电层同时形成，第二电极和公共电极由同一导电层同时形成；可替换地，上述显示面板可以是OLED显示面板并包括形成在第一基板上的阳极和靠近第二基板一侧形成的阴极，第一电极和阳极由同一导电层同时形成，第二电极和阴极由同一导电层同时形成。

在一个实施例中，围墙的内壁可以设置有导轨，质量块被设置成能够沿着导轨在密闭腔内移动。

在一个实施例中，围墙和质量块中的至少一个可以设置有用于检测质量块在密闭腔内的位置的位置检测结构。

在一个实施例中，围墙可以由光刻胶材料通过构图工艺形成。

在一个实施例中，所集成的传感器可以是用于感测施加至显示面板的压力的压力传感器，该压力传感器包括形成在第一基板上的第一电极、与第一电极相对设置的第二电极、以及位于第一电极和第二电极之间的间隔壁，第一电极、第二电极和间隔壁一起限定至少一个密闭的微腔，第一电极和第二电极中的至少一个由石墨烯材料形成。

在一个实施例中，上述显示面板还可以包括形成在所述基板上的遮光金属层和覆盖遮光金属层的缓冲层，所述第一电极由石墨烯材料形成，所述第二电极和遮光金属层由同一材料层同时形成，所述间隔壁由形成缓冲层的材料层形成。

在一个实施例中，上述显示面板还可以包括形成在所述基板上的TFT结构以及覆盖TFT结构的一个或多个绝缘材料层，所述间隔壁由形成所述一个或多个绝缘材料层中的至少一个的绝缘材料层形成。

在一个实施例中，绝缘材料层可以包括层间绝缘层、钝化保护层和平坦化层中的至少一种。

在一个实施例中，上述显示面板还可以包括形成在所述第二基板上的彩膜层和黑矩阵层，压力传感器位于所述第二基板与彩膜层和黑矩阵层之间。

在一个实施例中，间隔壁由光刻胶材料通过构图工艺形成。

在一个实施例中，所述间隔壁可以由形成彩膜层和黑矩阵层的材料层中的一个或多个通过构图工艺形成。

在一个实施例中，上述显示面板还可以包括覆盖彩膜层和黑矩阵层的公共电极，所述第一电极形成在第二基板的表面上，所述第二电极通过由形成彩膜层和黑矩阵层的一种或多种材料构成的绝缘层与公共电极电隔离。

在一个实施例中，上述显示面板还可以包括覆盖彩膜层和黑矩阵层的公共电极，所述第一电极形成在第二基板的表面上，所述第二电极和公共电极由同一导电层同时形成。

在一个实施例中，所集成的传感器可以是用于感测外部环境的声波的声波传感器，该声波传感器包括形成在第一基板上的第一电极、与第一电极相对设置的第二电极、位于第一电极和第二电极之间的背腔、贯穿所述第一基板并连通背腔和外部环境的微孔、以及设置在第二电极上的声波敏感结构，所述声波敏感结构至少部分地由硅材料制成。