[发明专利]集成有传感器的显示面板及其制作方法和显示装置

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，该显示面板包括：第一基板；与第一基板相对设置的第二基板；和通过半导体工艺集成在第一基板和第二基板之间的传感器，并且

所述传感器是用于感测所述显示面板的加速度的加速度传感器，该加速度传感器包括：

形成在第一基板上的第一电极；

形成在第二基板上的第二电极；

位于第一基板和第二基板之间的围墙，该围墙与第一电极和第二电极一起限定一密闭腔；

质量块，设置在该密闭腔内以将该密闭腔分隔成彼此隔离的第一腔和第二腔，并能够沿着围墙在第一基板和第二基板之间移动以改变第一腔和第二腔的容积；和

第一流体和第二流体，分别填充第一腔和第二腔以允许质量块在密闭腔内自由移动。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，显示面板是液晶显示面板，所述液晶显示面板包括形成在第一基板上的像素电极和形成在第二基板上的公共电极，第一电极和像素电极由同一导电层同时形成，第二电极和公共电极由同一导电层同时形成；

或者

显示面板是有机发光二极管显示面板，所述有机发光二极管显示面板包括形成在第一基板上的阳极和靠近第二基板一侧形成的阴极，第一电极和阳极由同一导电层同时形成，第二电极和阴极由同一导电层同时形成。

3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，围墙的内壁设置有导轨，质量块被设置成能够沿着导轨在密闭腔内移动。

4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，围墙和质量块中的至少一个设置有用于检测质量块在密闭腔内的位置的位置检测结构。

5.一种显示面板，其特征在于，该显示面板包括：第一基板；与第一基板相对设置的第二基板；和通过半导体工艺集成在第一基板和第二基板之间的传感器，并且

传感器是用于感测施加至显示面板的压力的压力传感器，该压力传感器包括形成在第一基板上的第一电极、与第一电极相对设置的第二电极、以及位于第一电极和第二电极之间的间隔壁，第一电极、第二电极和间隔壁一起限定至少一个密闭的微腔，第一电极和第二电极中的至少一个由石墨烯材料形成。

6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，该显示面板包括形成在所述第一基板上的遮光金属层和覆盖遮光金属层的缓冲层，所述第一电极由石墨烯材料形成，所述第二电极和遮光金属层由同一材料层同时形成，所述间隔壁由形成缓冲层的材料层形成。

7.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，该显示面板包括形成在所述第一基板上的TFT结构以及覆盖TFT结构的一个或多个绝缘材料层，所述间隔壁由形成所述一个或多个绝缘材料层中的至少一个绝缘材料层形成。

8.根据权利要求7所述的显示面板，其中，所述一个或多个绝缘材料层包括层间绝缘层、钝化保护层和平坦化层中的至少一种。

9.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，该显示面板包括形成在所述第二基板上的彩膜层和黑矩阵层，压力传感器位于所述第二基板与彩膜层和黑矩阵层之间。

10.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，所述间隔壁由光刻胶材料通过构图工艺形成。

11.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，所述间隔壁由形成彩膜层和黑矩阵层的材料层中的一个或多个通过构图工艺形成。

12.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，显示面板还包括覆盖彩膜层和黑矩阵层的公共电极，所述第一电极形成在第二基板的表面上，所述第二电极通过由形成彩膜层和黑矩阵层的一种或多种材料构成的绝缘层与公共电极电隔离。

13.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，显示面板还包括覆盖彩膜层和黑矩阵层的公共电极，所述第一电极形成在第二基板的表面上，所述第二电极和公共电极由同一导电层同时形成。