[发明专利]基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液

权利要求书

1.一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法，其包括如下步骤：

a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种；

b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理；

c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。

2.一种如权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤a中所述添加剂的质量分数为60％～98％。

3.一种如权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤a中所述氢氟酸溶液、过氧化氢溶液与添加剂的体积比为1～10:10～40:1～20，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40％～50％，所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20％～55％。

4.一种如权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤a中所述金属盐为硝酸铜、硝酸银、硝酸钯、氯化铜、氯金酸、氯铂酸、铬酸钾、硫酸镍中的至少一种，所述预处理液中金属盐的摩尔浓度为1μmol/L～10⁵μmol/L。

5.一种如权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤b中所述预处理的时间为20秒～5分钟，预处理的温度为10℃～45℃。

6.一种如权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤c中所述氢氟酸硝酸制绒液为氢氟酸溶液、硝酸溶液和水以1～5：5～10：5～15的体积比混合得到的混合物，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量浓度为40％～50％，所述硝酸溶液中硝酸的质量浓度为50％～70％。

7.一种如权利要求1所述的制绒方法，其特征在于，步骤c中所述制绒处理的时间为30秒～3分钟，所述制绒处理的温度为5℃～15℃。

8.一种基于金刚线切割的硅片制绒品，其特征在于，该硅片制绒品为将硅片采用如权利要求1～8任一项制绒方法进行制绒处理得到。

9.一种基于金刚线切割的硅片制绒预处理液，其特征在于，其包括氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种。

10.一种如权利要求9所述的硅片制绒预处理液，所述氢氟酸溶液、过氧化氢溶液与添加剂的体积比为1～10:10～40:1～20，所述氢氟酸溶液中氢氟酸的质量分数为40％～50％，所述过氧化氢溶液中过氧化氢的质量分数为20％～55％。