[发明专利]涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及面板生产技术领域，尤其是涉及一种涂布装置。

背景技术

在一些电子器件生产过程中，为实现图形转换需要经过光刻制程。例如，在液晶显示器生产技术领域，TFT(薄膜晶体管)及彩色滤光片制造过程中，为了实现图形转换均需要经过光刻制程。在进行光刻制程前，需在玻璃基板上涂布一层光刻胶。

目前，涂覆光刻胶通常采用狭缝涂布机进行涂覆。而在采用狭缝涂布机涂胶前或在光刻胶换线过程中，都会对光刻胶进行预吐挤压清理作用，以保证后续的涂布均匀并无气泡。由狭缝涂布机中挤压清理出的光刻胶会承放于狭缝涂布机的承液槽中。然而在挤压清理光刻胶到承液槽的过程中，光刻胶会发生飞溅现象。由于光刻胶会有刺激性的气味，再加上光刻胶的飞溅，将对狭缝涂布机及其周围环境造成污染，影响狭缝涂布机的稳定运行，同时危害设备操作人员的身心健康。

发明内容

针对现有技术中所存在的上述技术问题，本发明提出了一种涂布装置。该涂布装置能减少或克服光刻胶飞溅的可能。同时该涂布装置结构简单，制造成本低。

根据本发明提出了一种涂布装置，包括：

喷嘴，

设置在喷嘴下方的承接托盘，以及

设置在承接托盘内的用于接收喷嘴喷出的流体的导流板，导流板沿承接托盘的纵向设置，并能与竖向形成第一角度。

在一个实施例中，导流板的下沿与承接托盘的底壁形成间隙。

在一个实施例中，在导流板的朝向喷嘴的表面上设置防残留板。

在一个实施例中，防残留板覆盖导流板的朝向喷嘴的整个表面上，并与导流板可拆卸式连接。

在一个实施例中，在导流板的朝向喷嘴的表面上设置防残留板，防残留板与导流板一体化制造，导流板与承接托盘可拆卸式连接。

在一个实施例中，还包括用于清洗承接托盘的清洗装置，清洗装置具有能沿承接托盘的纵向移动的夹持头和设置在夹持头的下方的清洗液喷嘴。

在一个实施例中，清洗液喷嘴与夹持头铰接。

在一个实施例中，在夹持头上还设置有与夹持头铰接的气体喷嘴。

在一个实施例中，第一角度为锐角。

在一个实施例中，在承接托盘的上方设置防溅罩，并且在防溅罩的上表面上设置有与喷嘴配合的开口。

与现有技术相比，本发明的优点在于，通过在承接托盘内设置导流板，则由喷嘴处喷出的流体(例如光刻胶)可落在导流板上，再沿着导流板流入到承接托盘中，其中导流板起到了为流体导流的作用。导流板可防止流体直接落入承接托盘而引起的四处飞溅的可能，从而保证了涂布装置的运行稳定和减小或避免了操作人员受到的污染伤害。

附图说明

下面将结合附图来对本发明的优选实施例进行详细地描述，在图中：

图1显示了根据本发明的涂布装置的横截面；

图2显示了根据本发明的涂布装置的纵截面；

图3显示了根据本发明的清洗装置的结构图；

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记，附图并未按照实际的比例绘制。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明做进一步说明。

图1显示了涂布装置100的结构。如图1所示，涂布装置100包括喷嘴1、承接托盘2和设置在承接托盘2内的导流板3。在生产例如薄膜晶体管和彩色滤光片等电子器件过程中，喷嘴1用于向例如玻璃基板上涂布光刻胶。承接托盘2设置在喷嘴1的下方，能收集在预吐等过程中由喷嘴1喷出的光刻胶。而导流板3沿着承接托盘2的纵向设置，并能与竖向形成第一角度α，用于接收喷嘴1喷出的流体。

由此，在涂布光刻胶之前或者光刻胶转线过程中，需要进行预吐挤压清理(Purge)工序，使得光刻胶由喷嘴1喷出一部分，而保证后续的制程。通过上述设置，挤压清理过程中喷出的光刻胶落在导流板3上，然后沿着导流板3流到承接托盘2内。通过设置导流板3降低了从喷嘴1喷出的流体的落差，防止流体直接落入承接托盘2而引起的四处飞溅的可能，从而保证了涂布装置100的运行稳定性，并减小或避免了操作人员受到的污染伤害。

在一个实施例中，导流板3为平板。并且导流板3的下沿与承接托盘2的底壁形成间隙10。也就是，导流板3的下沿并不能与承接托盘2的底壁接触。优选地，间隙10为1-5厘米。流体通过导流板3导流后通过重力作用滴落到承接托盘2内，由于间隙10的尺寸比较小，这种落差并不能导致流体四处飞溅。同时，这种设置方式能防止流体残留在承接托盘2内，有利于对承接托盘2进行清洗。其中，导流板3的下沿为与承接托盘2的底壁邻近的一边。