[发明专利]涂布装置有效
| 申请号： | 201510383558.7 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104941869B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 孙杰;姚江波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,刘华联 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种涂布装置，其特征在于，包括：
喷嘴，
设置在所述喷嘴下方的承接托盘，以及
设置在所述承接托盘内的用于接收所述喷嘴喷出的流体的导流板，所述导流板沿所述承接托盘的纵向设置，并能与竖向形成第一角度，所述第一角度为20°-70°；
支撑柱将导流板设置在承接托盘内,支撑柱的一端与承接托盘的底壁相连，支撑柱与导流板铰接，以调节第一角度α的大小；
还包括清洗装置，所述清洗装置具有能沿所述承接托盘的纵向移动的夹持头和设置在夹持头的下方的清洗液喷嘴；
在所述夹持头上还设置有与所述夹持头铰接的气体喷嘴；
所述气体喷嘴与所述清洗液喷嘴间隔式设置；
所述导流板的下沿与所述承接托盘的底壁形成间隙；间隙为1-5厘米。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在所述导流板的朝向所述喷嘴的表面上设置防残留板。
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述防残留板覆盖所述导流板的朝向所述喷嘴的整个表面上，并与所述导流板可拆卸式连接。
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在所述导流板的朝向所述喷嘴的表面上设置防残留板，所述防残留板与所述导流板一体化制造，所述导流板与所述承接托盘可拆卸式连接。
5.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述清洗液喷嘴与所述夹持头铰接。
6.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在所述承接托盘的上方设置防溅罩，并且在所述防溅罩的上表面上设置有与所述喷嘴配合的开口。
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