[发明专利]一种BMN陶瓷靶材的制备方法

权利要求书

1.一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，具有如下步骤：

步骤一：BMN粉体的制备

以Bi₂O₃，MgO和Nb₂O₅粉末为起始原料，摩尔比为1.65:1:1.5，以无水乙醇为介质球磨6～10h，将物料于80～100℃恒温干燥箱中干燥；

将混合好的物料在空气或氧气气氛中预烧，温度为700～900℃，保温1～4h，然后自然降温至室温，得到BMN粉体；

步骤二：生坯的制备

将所述步骤一制得的BMN粉体进行二次球磨6～10h，于80～100℃恒温干燥箱中干燥，后研磨并过筛，添加粘合剂造粒；

将造粒好的粉料单轴压制成型，制成直径为65mm厚为6mm的BMN生坯，压力为10MPa；

步骤三：靶材的烧结

将成型的BMN陶瓷在500～700℃保温40～50h脱胶，升温时间为10～15h，之后在氧气气氛中1000～1100℃烧结，保温2～10h，得到所需的靶材。

2.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤一中的球磨时间为8h，ZrO₂球作为研磨体，ZrO₂球、Bi₂O₃，MgO和Nb₂O₅粉末总重量和无水乙醇的质量比为1:2:1；

所述预烧中，分别在750℃、800℃、850℃和900℃下保温2小时预烧。

3.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤一中采用氧气气氛替代空气，以5℃/min的速率升温，在500～600℃开始充入O₂，750～900℃保温之后随炉冷却，在500～600℃停止充入O₂。

4.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤二中的二次球磨为8h，过筛120目。

5.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤二中的粘合剂为5wt％聚乙烯醇溶液，所述的聚乙烯醇溶液和预烧粉料的质量比约为1:10。

6.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤二中的将造粒好的粉料静置时间为24h，生坯成型保压时间为5min，在300MPa下等静压静置5min。

7.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤三中的排胶温度为600℃，升温时间为12h，保温时间为36h。

8.如权利要求1所述的一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤三中的烧结过程为将所述BMN生坯从室温升至100℃保温10min，后从100℃升至烧结温度1000～1100℃，升温速率为5℃/min。